Trên dây chuyền sản xuất có kích thước 300mm, lò nung có vẻ hoạt động ổn định, nhưng độ dày lớp phim quang hóa vẫn bị thay đổi sau quá trình nung...

Trên sàn sản xuất, bạn đã biết quy trình. Sự biến động ±0,5°C trong quá trình nướng photoresist đủ để loại bỏ một lô 500 wafer. Bạn cần nhiệt độ...