Cảm biến nhiệt độ dành cho dụng cụ xử lý wafer

Tại sao chúng ta chuyển sang sử dụng phương pháp gia nhiệt bằng tia hồng ngoại trong quy trình xử lý wafer? Hiện nay, mọi người đều nói về mục tiêu...