快速发货晶圆加热灯

在光刻车间，你很快就会发现，软烘烤漂移半度会影响关键尺寸（CD）预算，而晶圆上硬烘烤不均匀会导致薄膜残留和脚部效应。当生产线以秒为单位争分夺秒时，等待换灯显然不可行。 技术关键点 我们将快速交付的晶圆加热灯构建在石英包封的短波近红外发射器基础上，使热量直接作用于晶圆，响应迅速。在整个工艺窗口内，晶...