ראו כיצד שבב בגודל 300 ממ נופל מהמסילה אל מודול החימום. חומר הפוטורזיסט חייב להגיע לטמפרטורה הנדרשת – בצורה אחידה, בכל חלק של השבב. אם יהיה סטייה של 1°C באזור החם, או אם ייווצר מקום קר בקצה, השליטה בממדים הקריטיים תיפגע. התהליך יפסיק.
מה באמת חשוב מאחורי הקלעים בנינו את מערכת החימום כך שתכלול אזורי חימום נפרדים, כאשר כל אזור מגיב במהירות ושומר על אחידות תרמית בכל שטח השבב. במהלך תהליכי החימום, המערכת שומרת על יציבות הטמפרטורה בטווח של ±0.1°C, וכך נמנעות סטיות בתווי החימום. כך נשמרת איכות חומר הפוטורזיסט, ונמנעות סטיות בממדים הקריטיים.
מקורות חום מסוג קוורץ ואינפרא-אדום מספקים חום במהירות ובצורה נקייה, ללא חלקיקים. הבקר מעקב אחר כל אזור בזמן אמת, כך שניתן לתקן סטיות ולשמור על אחידות החימום.
למה זה עובד במפעלים אמיתיים בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, מספר החלקיקים הוא גורם חשוב מאוד. מודולי החימום האלה אינם יוצרים חלקיקים במהלך תהליכי החימום, וכך נשמרת איכות השבבים. כך ניתן לשמור על דיוק בחימום השבבים, להפחית את כמות החומרים שצריך להחזיר לייצור, ולתכנן את צריכת האנרגיה בצורה יעילה.
שימוש באנרגיה יורד, מכיוון שמחוממים רק האזורים הדרושים. התוצאה היא ביצועים עקביים, פחות חומרים שצריך להחזיר לייצור, ואפשרות לפעולה 24/7 ללא בעיות.
הפרטים הפרקטיים שצריך להתחשב בהם השילוב בין המערכות דורש התאמה בין שטח החימום, זרימת הגזים ויכולת הפליטה של החום. יש לבדוק את ההתאמה של הציוד הקיים למפה החדשה של אזורי החימום ולתווי הטמפרטורה. יש לבצע בדיקות קצרות כדי להתאים את קצבי החימום לסוג הפוטורזיסט המשמש. לאחר מכן, התהליך יישאר יציב, ללא קשר לשעות העבודה או לשינויים בתנאי הסביבה.