בחדר הייצור, התקן התרמי הוא גבול שאסור לחצותו. לאחר ההשתלה, יש להגיע לטמפרטורת ההפעלה באופן מדויק, עם פיזור צר של הטמפרטורה. אם לא נעשה זאת, ההתנגדות החשמלית של השבב עלולה להשתנות, ואז ירדה היבילות של השבב.
שיטות החימום הקונבנציונליות גורמות לירידה באיכות המוצר ולעיכובים בתהליך. חלון הזמן האפשרי לייצור הולך וקטן.
מה חשוב באמת? יצרנו את מערכת ההפעלה של החומרים הדופנטיים באמצעות גופי פליטה בגלים קצרים ועיצוב תרמי משופר. האנרגיה נכנסת ישירות לוופר, במהירות ובצורה מדויקת. על ופר בגודל 300 ממ, אנו שומרים על אחידות של ±0.1°C, עם פרופילים של עלייה בטמפרטורה ושהייה בטמפרטורה מסוימת. זה מבטיח עקביות תרמית לאורך כל שלבי הייצור.
חדרי הייצור מסוג 1–100 מאופיינים בחומרים עם פליטה נמוכה, חיבורים אטומים, ואין ייצור של חלקיקים – דבר ששומר על רמת חלקיקים קבועה במהלך תהליכי הליתוגרפיה והחריטה. המערכת פועלת 24/7 ללא הפסקות, ומערכת הבקרה שומרת על טמפרטורת החימום ברמה של ±0.2°C, כך שהממדים החשובים של השבב נשמרים.
למה זה חשוב בייצור בכמויות גדולות? יש צורך בחזרתיות בתהליך הייצור, כדי שהתוצאות יהיו עקביות מייצור לייצור. החימום באמצעות גופי חימום באינפרא-אדום מקצר את זמן הייצור, ובו זמנית שומר על שליטה במתח התרמי. כך, פרופילי החומרים נשארים יציבים לאחר שלבי החימום השונים.
פחות צורך בתיקונים. פיזור צר יותר של ההתנגדות החשמלית. צריכת אנרגיה נמוכה יותר לכל ופר. בייצור בכמויות גדולות, זה אומר שניתן לתכנן את קצב הייצור, והעלויות לכל ייצור יהיו נמוכות יותר.
על מה צריך לשים לב? ההתקנה דורשת אליינמנטציה אופטית מדויקת ומערכת פינוי אוויר מיוחדת, כדי לשמור על שוויון הלחץ בחדר הייצור. יש להתאים את עוצמת החימום לוופר ולשכבות החומרים השונות.
אנו מספקים נהלים ספציפיים לכל יישום, אך עדיין יש צורך בבדיקות לפני הייצור. לאחר הכיול, המערכת עובדת בצורה יעילה. אך שלב ההתקנה אינו אופציונלי.