בחדר הייצור, תהליכי חימום רך וחימום קשה אינם רק שלבי טמפרטורה – אלא גם שלבי שליטה בדיוק הטמפרטורה. שינוי של 1°C יכול לפגוע בדיוק הנדרש, ונקודות חום יכולות לפגוע באיכות המוצר. לכן פיתחנו מודולי חימום באינפרא-אדום שמאפשרים שליטה מדויקת בטמפרטורה.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בגלאי אינפרא-אדום בעלי תגובה מהירה, כך שהחום יגיע למקום הרצוי, בזמן הרצוי. המודול מחולק לאזורים נפרדים, כך שניתן לשלוט בטמפרטורה בכל אזור בנפרד. בפועל, זה מאפשר אחידות ברמת הוואף בטווח של ±0.1°C, ואילו טמפרטורת החימום נשארת בטווח של ±0.5°C מהערך הרצוי, מדף לדף. השימוש בחומרים ללא קוורץ ובחומרים עם פליטת גזים נמוכה מונעים ייצור של חלקיקים על הוואף – דבר שחיוני לתפעול בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100.
למה זה עובד בצורה טובה בקווי ליתוגרפיה? אי אפשר להרשות לעצמנו זמן עצירה לא מתוכנן. מודול החימום הזה פועל 24/7 ללא עצירות לא מתוכננות, ומערכת החימום עמידה מאוד – תוחלת החיים שלה עולה על 10,000 שעות. זה פתרון פשוט, מודולרי, וניתן לשלוט בו ברמת האזורים השונים.
היתרונות ברורים: מהירות גבוהה בהגעה לטמפרטורה הרצויה, חזרה על אותו תהליך בדיוק גבוה יותר, ופחות ואפים שנהרסים עקב חוסר אחידות בחימום. צריכת האנרגיה גם היא יורדת – השליטה המדויקת מונעת חימום של כל האזור, כשרק כמה מקומות צריכים להתוקן.
כמה דברים שצריך לקחת בחשבון: ההתקנה דורשת מעגל חשמלי נפרד וזרימת אוויר נקיה וקרה, כדי לשמור על טמפרטורה יציבה של הגלאי. המודול משתלב בצורה טובה עם מערכות החימום הקיימות, אך היתרונות המלאים מתקבלים כאשר הוא משולב עם אסטרטגיות שמשתמשות בתיקונים לפי האזורים השונים.
מגבלה אחת: מספר האזורים קבוע לכל פריים. לכן יש לתכנן את האזורים מראש, כך שיתאימו לגודל הוואף ולצרכי השליטה בקצוות.