חימום ממוקד למפעלי ייצור שבבים מתקדמים
ראו כיצד שבב בגודל 300 ממ נופל מהמסילה אל מודול החימום. חומר הפוטורזיסט חייב להגיע לטמפרטורה הנדרשת – בצורה אחידה, בכל חלק של השבב. אם יהיה סטייה של...
מודול חימום באינפרא אדום בעל אזורי חימום מוגדרים
בחדר הייצור, תהליכי חימום רך וחימום קשה אינם רק שלבי טמפרטורה – אלא גם שלבי שליטה בדיוק הטמפרטורה. שינוי של 1°C יכול לפגוע בדיוק הנדרש, ונקודות חום...