חימום ממוקד למפעלי ייצור שבבים מתקדמים

ראו כיצד שבב בגודל 300 ממ נופל מהמסילה אל מודול החימום. חומר הפוטורזיסט חייב להגיע לטמפרטורה הנדרשת – בצורה אחידה, בכל חלק של השבב. אם יהיה סטייה של...