חיממן לשבבים חסכוני באנרגיה
יש למנוע זיהום של הוופרים עוד לפני שהוא מתחיל בואו נהיה כנים: פיצוץ של להט תת-אדום בקו ייצור של שבבים הוא סיוט אמיתי.
זה לא קשור רק לעצם הפסקת...
מחמם לייבוש שבבי חיישני MEMS
עצרו את “גשם הזכוכית”: שמירה על ניקיון הוופרים במהלך ייבוש באמצעות אור אינפרא-אדום בעולם ייצור חיישני MEMS, כשנורת אינפרא-אדום נשרפת, זו בעיה חמורה....
חיישן אינפרא אדום מדויק לוופרים
צמצום פליטות הפחמן בתהליך עיבוד הוופרים (בלי לאבד את שפיותכם) כל מפעל לייצור שבבים נאלץ כרגע לעמוד ביעדי הפחתת הפליטות לרמה של אפס. אך כשבוחנים את...
חיישן טמפרטורה לכלי עבודה עם שבבים
למה אנו עוברים לחימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום לעיבוד שבבים כולם מדברים על ניטרליות פחמנית כרגע, ובעולם השבבים זה אומר שעלינו לחשוב מחדש על הדרך בה...
מרחק בטיחות לחימום הוופרה
שמירה על הבטיחות בעת חימום הוופרים באמצעות אור אינפרא-אדום בואו נהיה כנים: שילוב של להבות אינפרא-אדום בעלות טמפרטורה גבוהה עם חומרי ניקוי דליקים הוא...
מחזיר אור למנורת ייבוש הוופרים
עצרו את מערכת הייבוש של הוואפר מלהפוך לתנור הבעיה עם נורות IR היא שהן פולטות חום בכל הכיוונים – 360 מעלות של קרינה. במערכות של חצאי מוליכים, כל החום...
חימום בדיוק גבוה ל Wafer IR
בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורה במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו דבר של מה בכך. הדבר גורם לבעיות בבדיקות החשמליות, וכן לעלייה...
מנורת ייבוש של שבבי DNS (Screen)
בקו של 300 ממ, התנור נראה יציב, אך פרופיל הפוטורזיסט עדיין משתנה לאחר תהליך החימום הרך. כתוצאה מכך, יש שינויים ברוחב הקו במהלך תהליך החריטה, והבעיה...
חימום ממוקד למפעלי ייצור שבבים מתקדמים
ראו כיצד שבב בגודל 300 ממ נופל מהמסילה אל מודול החימום. חומר הפוטורזיסט חייב להגיע לטמפרטורה הנדרשת – בצורה אחידה, בכל חלק של השבב. אם יהיה סטייה של...