בקו של 300 ממ, התנור נראה יציב, אך פרופיל הפוטורזיסט עדיין משתנה לאחר תהליך החימום הרך. כתוצאה מכך, יש שינויים ברוחב הקו במהלך תהליך החריטה, והבעיה נובעת מחוסר אחידות בחימום ברחבי הוואפר.
ברוב המקרים, הגורם לבעיה הוא נורת הייבוש – הרכיבים שלה מתבלים עם הזמן, ההספק שלה משתנה, ויש נקודות חמות שהבקר לא יכול לתקן.
מה באמת חשוב
נורת הייבוש של מסך DNS משתמשת בגלי אינפרא-אדום באורך גל קצר, המופקים על ידי רכיבי קוורץ. זה מאפשר חימום מהיר ואחיד, עם רמת אחידות של ±0.1°C.
הספק הנורה נשאר יציב לאורך אלפי תהליכי חימום, כך שתהליך החימום הרך מתבצע בתנאים אחידים, ותהליך החימום הקשה נשאר בתוך הטווח הרצוי.
המערכת מותאמת לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, וכל הרכיבים נבחרו כך שלא ייווצרו חלקיקים מיותרים. המשטחים והרכיבים נבחרו כך שלא יפלו חלקיקים.
הספק הנורה נשאר יציב לאורך 5,000 שעות ויותר, עם שינוי של פחות מ-5% בעוצמה – כך שיש צורך במעט יותר תחזוקה וחילופי חלקים.
למה זה חשוב בליתוגרפיה
תהליכי החימום הרך והקשה קובעים את רמת המסיסות של הפוטורזיסט, את כוח ההידבקות שלו ואת רמת האחידות שלו. כאשר המחזור התרמי חוזר על עצמו מסבב לסבב, יש פחות פסולת שנוצרת כתוצאה מחוסר אחידות בחימום.
רמת אחידות גבוהה פירושה פחות עבודה נוספת לאחר תהליך החריטה, תשואה גבוהה יותר, ותהליכי החילוף נשארים בתוך הטווח הרצוי.
התגובה התרמית המהירה גם מפחיתה את האנרגיה הנדרשת לכל תהליך חימום, וחיי הנורה הארוכים מונעים זמני עצירה בלתי צפויים.
מה צריך לעשות מראש
ההתקנה כוללת התאמת הנורה לממדי חדר הייבוש ולמסלול האופטי שלו. יש לוודא את סוג החיבור, המתח ומערכת הקירור לפני כל דבר אחר.
הנורה צריכה לפעול בתוך הטווח הטמפרטורלי המוגדר עבורה; אחרת, חיי הנורה יקצרו.
יש לקיים לוח זמנים לתחזוקה וניקיון של הנורה – אחרת לא ניתן יהיה לשמור על רמת האחידות הרצויה.