
עצרו את מערכת הייבוש של הוואפר מלהפוך לתנור
הבעיה עם נורות IR היא שהן פולטות חום בכל הכיוונים – 360 מעלות של קרינה. במערכות של חצאי מוליכים, כל החום שלא פוגע בוואפר הוא למעשה בזבוז. אבל זה עוד לא הכול – האנרגיה הזו חייבת ללכת למקום כלשהו, ולכן היא פוגעת בקירות הפנימיים של המכונה. ראינו יותר מדי מקרים שבהם המכונה נהיית כל כך חמה, עד שיש סכנת שריפה. זה לא מה שצריך לקרות במקום עבודה מקצועי.
להביא את החום למקום הנכון
אנו פותרים את הבעיה הזו על ידי שימוש במחזירי אור מדויקים. במקום לאפשר לחום להתפשט לכל מקום, המחזיר מרכז את האנרגיה של נורות IR לקרן ממוקדת שפוגעת ישירות בוואפר. כך האנרגיה מרוכזת בדיוק במקום שבו אנו צריכים אותה. ומכיוון שהקרינה כבר לא פוגעת במעטפת של המכונה, הקירות הפנימיים נשארים קרים. הצוות שלכם יכול לגעת בחלק החיצוני של המכונה בלי לחשוש מכוויות.
בחירת החומרים הנכונים
בדרך כלל אנו משתמשים במשטחים מאלומיניום בעלי טוהר גבוה או במשטחים מצופים בזהב. זהב הוא החומר המועדף לשימוש בקרינת IR בגלים ארוכים, מכיוון שהוא מחזיר יותר אנרגיה ולא מתחמץ גם בטמפרטורות גבוהות.
אם אתם משתמשים בנורות בעלות הספק גבוה, המחזיר צריך לעמוד בעומס גדול. אנו בוחרים חומרים שיכולים לעמוד בהתרחבות התרמית מבלי להתעוות. אם המחזיר נעווה, נקודת הפוקוס שלו תשתנה, וכך הייבוש של הוואפר יהיה לא אחיד – וזו בעיה קשה מאוד לפתרון.
הקושי בבחירת החומרים
הרי, אף שהפניית החום למקום הנכון פותרת את בעיית הבטיחות, היא גם יוצרת לחץ גדול יותר על הוואפר. תראו שזמני הייבוש יהיו מהירים יותר – זה נהדר, אבל יש חיסרון: אם מערכת הבקרה שלכם לא מותאמת לעוצמה הגבוהה יותר, ייתכן שהטמפרטורה תעלה יותר מדי. עליכם לבדוק שוב את כיול החיישנים שלכם, כדי שהם יוכלו להתמודד עם הקרן הממוקדת. בנוסף, יש לבדוק את מאווררי הקירור – עליכם לוודא שהחום העודף לא נשאר סביב תעלות הנורות.