בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורה במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו דבר של מה בכך. הדבר גורם לבעיות בבדיקות החשמליות, וכן לעלייה במספר החלקיקים שצריך להסיר בתהליך העיבוד הנוסף. חימום הוואפר באמצעות אינפרא-אדום חייב להיות מדויק – עליו לספק חום יציב ואחיד בכל שטח הוואפר, מבלי לגרום לזיהום.
מה באמת חשוב? יצרנו את מערכת החימום באמצעות אינפרא-אדום על בסיס גופי פליטה של אור אינפרא-אדום בתדר נמוך, המותקנים במודולים המחוזקים בקוורץ. המערכת מאפשרת שליטה מדויקת בטמפרטורה – על גבי ואפר בגודל 300 ממ, הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1°C, והשליטה בין סדרות הייצור נשמרת בטווח של מספר מילי-מעלות בלבד. החדר בו פועלת המערכת מתאים לתנאי חדר נקי מסוג 1 עד 100; המערכת משתמשת בחומרים שאינם פולטים גזים, ובמערכת אוורור שמונעת הצטברות של חלקיקים. אין צורך להשיג אפס חלקיקים – הדבר תלוי באיכות השטח, בבחירת החומרים שמשמשים לאטימה, ובאסטרטגיית הפליטה שמונעת את הצטברות של תוצרי לוואי של הפוטורזיסט.
בתהליך הטיפול בפוטורזיסט, החימום הראשוני מאפשר הסרת הממסים ושליטה במתח שנוצר בשכבה; החימום הנוסף מכין את השכבה לתהליך החריטה. כאשר החימום באמצעות אינפרא-אדום נעשה במהירות ובאופן יציב, ניתן לקצר את זמן העיבוד מבלי לאבד שליטה על התהליך.
שליטה טובה יותר בטמפרטורה משמעותה פחות צורך בעיבוד חוזר, תוצאות עקביות יותר, ופחות אנרגיה שמושחתת עקב עיבוד לא יעיל. המערכת פועלת 24/7, עם מרווחי תחזוקה צפויים – כך שהזמן הבלתי מתוכנן לעצירת המערכת פוחת, ולוח הזמנים נשאר יציב.
חימום באמצעות אינפרא-אדום ברמת דיוק גבוהה רגיש להבדלים ברמת הפליטה של האור בין השכבות השונות. יש להתאים את עוצמת האור ואת פרופילי החימום לכל סוג של חומר, ולוודא שהמערכת מתאימה למערכות האחרות שמשמשות ליישום החומרים.
כמובן, התכנון הראשוני דורש זמן. אך לאחר שהתהליך מוגדר, הוא נשאר במסגרת התקנים, באמצעות בדיקות תקופתיות של עוצמת האור ושל טמפרטורה.