گرمکن ویفر با مصرف انرژی کم
جلوگیری از آلودگی ویفرها، قبل از اینکه شروع شود
بیایید صادق باشیم: خراب شدن لامپهای مادون قرمز در خطوط تولید نیمههادی، واقعاً یک فاجعه است.
مسئله...
هیتر خشککن ویفر حسگر MEMS
متوقف کنید این «باران شیشهای»: نگهداری ویفرها در حالت تمیز در طول فرآیند خشک کردن با امواج مادون قرمز
در صنعت تولید سنسورهای MEMS، خرابی لامپهای...
سنسور مادون قرمز با دقت بالا برای ویفرها
کاهش مصرف کربن در فرآیند تولید ویفرها (بدون از دست دادن کارایی)
تمام کارخانههای تولید نیمههادی در حال حاضر برای رسیدن به اهداف مربوط به صفر کربن...
سنسور دما برای ابزار ویفر
چرا ما به استفاده از روش گرمایش مادون قرمز برای فرآوری ویفرها روی آوردهایم؟
در حال حاضر، همه درباره خنثیسازی کربن صحبت میکنند؛ در دنیای...
فاصله ایمن برای گرم کردن ویفر
حفظ ایمنی هنگام گرم کردن ویفرها با استفاده از لامپهای مادون قرمز
باید صادق باشیم: استفاده از لامپهای مادون قرمز با دمای بالا در کنار مواد حلکننده...
منعکسکننده برای لامپ خشککن ویفر
جلوگیری از تبدیل سیستم خشککننده ویفرها به یک فر
مشکل لامپهای مادون قرمز این است که حرارت را در تمام جهات پخش میکنند؛ یعنی تشعشعات در ۳۶۰ درجه...
حرارت با دقت بالا برای موجافزارهای مادون قرمز
در فرآیند لیتوگرافی، انحراف نیم درجهای در حین گرمایش فوتورزیست، موضوع جزئی نیست؛ زیرا منجر به کاهش کیفیت محصول در آزمایشات الکتریکی میشود. همچنین،...
لامپ خشککن ویفر DNS (Screen)
در خط تولید ۳۰۰ میلیمتری، به نظر میرسد که فر در حالت پایداری باشد؛ اما پروفایل فوتورزیست همچنان دچار تغییرات میشود. در نتیجه، عرض خطوط تولید شده...
سیستم گرمایش منطقهای برای کارخانههای پیشرفته تولید ویفر
تصاویری از ورود ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری به مدول پخت را تماشا کنید. فوتورزیست باید در دمای مشخصی قرار بگیرد؛ یعنی دمای یکنواختی در سراسر سطح ویفر. اگر...
سخت شدن پلیایمید برای ساخت ویفر
در سالن تولید، پخت پلیایمید صرفاً یک مرحله حرارتی دیگر نیست. این یک تعهد ابعادی است. حتی تغییر چند درجهای دما در سطح ویفر، باعث تغییر استرس،...
لامپ هیتر ویفر با ارسال سریع
در کف لیتوگرافی شما به سرعت میآموزید که یک نرمپختی که نیم درجه جابجا میشود، بودجه CD را تغییر میدهد و یک سختپخت که در سرتاسر ویفر یکنواخت نیست،...
لامپ خشککن ویفر با بازدهی بالا
در دپارتمان تولید، شما روند کار را میدانید. یک انحراف ±0.5°C در طی پخت فوتورزیست، کافی است تا یک دسته 500 وافری را دور بیندازید. شما به حرارتی نیاز...