در خط تولید ۳۰۰ میلیمتری، به نظر میرسد که فر در حالت پایداری باشد؛ اما پروفایل فوتورزیست همچنان دچار تغییرات میشود. در نتیجه، عرض خطوط تولید شده نیز دچار نوسان میشود. ریشه این مشکل، عدم یکنواختی دمایی در سطح ویفر است.
اغلب، عامل اصلی مشکل، لامپ خشککن است؛ چرا که اجزای آن با گذشت زمان فرسوده میشوند و خروجی لامپ نیز دچار نوسان میگردد. کنترلر نیز نمیتواند این نوسانات را جبران کند.
آنچه واقعاً اهمیت دارد:
لامپ خشککن مورد استفاده در این دستگاه، از ساختارهای اینفراروشن موج کوتاه استفاده میکند؛ این امر باعث گرمایش سریع و یکنواخت ویفر میشود، با دقت ±۰.۱ درجه سانتیگراد.
خروجی لامپ در طول هزاران بار استفاده، یکنواخت باقی میماند؛ بنابراین فرآیند خشککردن در چارچوب مشخصی انجام میشود.
این دستگاه برای اتاقهای تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ کل سیستم نیز به گونهای طراحی شده که هیچ ذرهای تولید نشود. سطوح و قطعات مورد استفاده نیز به گونهای انتخاب شدهاند که ذراتی تولید نشوند.
خروجی لامپ در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار، یکنواخت باقی میماند؛ نوسانات شدت نور کمتر از ۵٪ است؛ بنابراین نیاز به تعویض قطعات کمتری وجود دارد.
چرا این موضوع در فرآیند لیتوگرافی اهمیت دارد؟
فرآیندهای خشککردن نرم و سخت، میزان حلال موجود در فوتورزیست، چسبندگی آن و کنترل ویژگیهای سطحی ویفر را تعیین میکنند. وقتی که چرخههای حرارتی در هر بار تولید تکرار میشوند، میتوان از هدررفت مواد جلوگیری کرد.
یکنواختی بیشتر، منجر به کاهش کارهای تکراری پس از فرآیند حکاکی میشود؛ همچنین باعث افزایش بازدهی تولید میشود.
پاسخ سریع لامپ به تغییرات دما، باعث کاهش مصرف انرژی در هر بار خشککردن میشود؛ همچنین عمر طولانی لامپ، باعث کاهش زمان توقف غیرمنتظره دستگاه میشود.
آنچه باید از همان ابتدا در نظر گرفته شود:
نصب لامپ، مستلزم تطبیق آن با فضای مخصوص فر خشککن و مسیر نوری مورد نیاز است. ابتدا نوع کانکتور، ولتاژ و روش خنککردن لامپ بررسی میشود.
لامپ باید در محدوده دمایی مشخصی قرار داشته باشد؛ در غیر این صورت، عمر لامپ کاهش مییابد.
همچنین، باید برنامههای منظمی برای تنظیم لامپ و تمیز کردن سطوح آن در نظر گرفته شود؛ در غیر این صورت، نمیتوان از یکنواختی مورد نظر استفاده کرد.