جلوگیری از آلودگی ویفرها، قبل از اینکه شروع شود
بیایید صادق باشیم: خراب شدن لامپهای مادون قرمز در خطوط تولید نیمههادی، واقعاً یک فاجعه است.
مسئله فقط خاموش شدن هیتر نیست؛ وقتی که لوله کوارتزی خراب میشود، تکههای شیشه و مواد شیمیایی روی سطح ویفر پخش میشوند. با یک بار انفجار، کل محموله شما بیارزش میشود.
ما زمان زیادی را صرف یافتن راههایی برای جلوگیری از این اتفاق کردهایم.
مقابله با گرما و فشار
در اکثر مواقع، این لامپها به دلیل عدم توزیع یکنواخت گرما یا افزایش ناگهانی فشار داخلی، خراب میشوند.
برای حل این مشکل، از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این ماده میتواند در برابر چرخههای سریع گرما و سرما مقاومت کند. همچنین، ما به ضخامت دیواره لوله نیز توجه زیادی میکنیم.
ضخامت بیش از حد؟ لوله خراب میشود؛ ضخامت کمتر از حد؟ انرژی بیهوده تلف میشود. ما نقطه تعادلی را پیدا کردهایم که در آن لوله هم مقاوم باشد و هم اجازه عبور گرما را دهد.
استفاده از سیستمهای حفاظتی
حتی با استفاده از بهترین کوارتز، احتمال بروز مشکلات وجود دارد؛ بنابراین از پوششهای حفاظتی استفاده میکنیم.
این پوششها مانند سپرهایی عمل میکنند؛ اگر لامپ خراب شود، این پوششها تکههای شیشه را قبل از اینکه به ویفر برسند، جذب میکنند.
یک نکته دیگر: از چسبهایی که در دمای بالا گاز تولید میکنند، استفاده نکنید؛ این گازها ممکن است بیضرر به نظر برسند، اما فیلمی روی سیلیکون ایجاد کرده و همه چیز را خراب میکنند.
تنظیم میزان توان
چگالی گرما به ولتاژ و واتاژ بستگی دارد.
ما فیلامنتها را با دقت قرار میدهیم تا نقاط گرم خاصی ایجاد نشود؛ این نقاط با گذشت زمان کوارتز را تضعیف میکنند، و اینجاست که ترکها شروع میشوند.
همچنین، باید مطمئن شوید که منبع تغذیه، امپدانس لامپ را پوشش دهد؛ اگر ولتاژ مناسب نباشد، لامپ سریعتر خراب میشود.
یک نکته آخر: اگر سعی کنید گرمای بیشتری ایجاد کنید، بدنه لامپ تحت فشار قرار خواهد گرفت؛ مطمئن شوید که سیستم خنککننده بتواند افزایش دما را تحمل کند؛ در غیر این صورت، بدنه لامپ تخریب خواهد شد. این وضعیت چندان خوبی نیست.