تصاویری از ورود ویفرهای ۳۰۰ میلی‌متری به مدول پخت را تماشا کنید. فوتورزیست باید در دمای مشخصی قرار بگیرد؛ یعنی دمای یکنواختی در سراسر سطح ویفر. اگر...

در خط تولید، فرآیندهای پخت نرم و سخت، صرفاً مربوط به میزان دما نیستند؛ بلکه مربوط به محدوده‌های تحمل دما نیز هستند. اختلاف ۱ درجه سانتی‌گراد در دما،...