حفظ ایمنی هنگام گرم کردن ویفرها با استفاده از لامپهای مادون قرمز
باید صادق باشیم: استفاده از لامپهای مادون قرمز با دمای بالا در کنار مواد حلکننده قابل اشتعال، میتواند منجر به وقوع فاجعه شود. در مرحله تمیزکاری ویفرها، آخرین چیزی که میخواهیم، وجود منبع اشتعال در نزدیکی بخارات منفجره است.
ما روش بهتری برای مقابله با این مشکل پیدا کردهایم؛ به جای استفاده از لامپهای ساده، آنها را در غلافهای ویژهای قرار میدهیم.
یافتن نقطه مناسب برای قرارگیری لامپها
در قرارگیری لامپها، باید تعادلی برقرار کرد. اگر لامپها را خیلی نزدیک به ویفر قرار دهیم، نقاط داغی روی ویفر ایجاد خواهد شد؛ این خوب نیست. اما اگر لامپها را خیلی دورتر قرار دهیم، کارایی گرمایشی کاهش خواهد یافت و زمان پردازش نیز طولانی خواهد شد.
برای حل این مشکل، عناصر گرمایشی را در غلافهایی از جنس سفیر یا کوارتز مقاوم به مواد شیمیایی قرار میدهیم. این غلافها مانند سپری عمل کرده و جریان الکتریکی لامپ را از هوای اطراف جدا میکنند؛ بنابراین حتی در صورت نشت مواد شیمیایی، لامپ دچار آتشسوزی نخواهد شد.
بهبود عمر لامپها
در اینجا، پایداری بسیار مهم است. ما از کوارتزهای پوششدار یا طرحهای دودیوارهای استفاده میکنیم؛ زیرا شوک حرارتی میتواند لامپها را از بین ببرد. وقتی که دمای مواد تمیزکننده تغییر میکند، لامپهای ارزانقیمت خراب خواهند شد.
علاوه بر این، غلافها مانع ورود رطوبت و گازهای خورنده به داخل لامپ میشوند. معمولاً لامپها به دلیل این مشکلات خراب میشوند؛ این طراحی از وقوع چنین مشکلاتی جلوگیری میکند.
معایب این روش
البته، این روش نیز معایبی دارد. به دلیل وجود این غلافهای محافظ، کمی از گرمای تولید شده از لامپ از بین میرود. البته مقدار آن زیاد نیست، اما این غلافها بخشی از انرژی لامپ را قبل از رسیدن به ویفر جذب میکنند.
اگر میخواهید سرعت گرم شدن ویفرها در سطح مطلوبی باقی بماند، باید منبع تغذیه لامپ را تنظیم کنید تا این اتلاف انرژی جبران شود.
یک نکته دیگر: فراموش نکنید که سیستم تهویه نیز بسیار مهم است. حتی با وجود این لامپهای محافظ، همچنان نیاز به سیستم تهویه قوی باقی است تا سطح مواد حلکننده در سطحی پایینتر از حد خطر باقی بماند. ایمنی، همیشه در اولویت است.