Warum wir uns vom Einsatz von Heißluft im Halbleiterherstellungsprozess entfernen Wenn Sie jemals Zeit damit verbracht haben, die Ausrüstung in den...

Hören Sie auf, die Wände zu heizen – und heizen Sie stattdessen die Wafer. Seien wir ehrlich: In einer Halbleiterfabrik ist unbekontrollierte Wärme...

Hören Sie auf, gegen die Hitze anzukämpfen – eine bessere Methode zur Temperatursteuerung in Fabriken Wenn Sie eine Fabrik der nächsten Generation...

Hören Sie auf, Energie in Ihren Wafer-Systemen zu verschwenden! Wenn Sie Siliziumwafer erhitzen, zählt jeder einzelne Watt. Das Problem ist...

IR-Heizung gegen Druckluftheizung: Welche Methode eignet sich wirklich für Ihre Fertigung? Falls Sie immer noch auf die Verwendung von heißer Luft...

Ihren Klasse-100-Reinraum wirklich sauber halten Wenn man einen Reinraum der Klasse 100 betreibt, stellt die Beheizung ein echtes Problem dar. Es...

In einer Linie mit einer Länge von 300 mm ist die Lithografieeinheit das „Herzstück“ des Systems. Wenn der Heizer der AHU keine konstante Temperatur...

Beobachten Sie, wie ein 300-mm-Wafer von der Bahn rollt und in das Trocknungsmodul gelangt. Der Fotoresist muss die gewünschte Temperatur erreichen –...

On the fab floor ist das Aushärten von Polyimid nicht nur ein weiterer thermischer Schritt. Es ist ein dimensionales Versprechen. Verschiebt man die...

Auf einem LCD-Panel-Fertigungsboden kündigt sich thermische Drift nicht an – sie frisst einfach leise Erträge. Ist die Temperatur während des...