In einer Linie mit einer Länge von 300 mm ist die Lithografieeinheit das „Herzstück“ des Systems. Wenn der Heizer der AHU keine konstante Temperatur hält, wirkt sich das auch auf das Trocknungsprofil aus – und schon vor dem Zeitpunkt, an dem der Defektsensor etwas feststellt, nimmt die Qualität der Wafers ab. Wir haben unser Klimatisierungs- und Heizmodul so konstruiert, dass das thermische Feld dort stabil bleibt, wo es wirklich wichtig ist – direkt auf der Waferoberfläche.
Was wirklich wichtig ist: Wir gewährleisten eine Temperaturgleichmäßigkeit von ±0,1 °C im Luftstrom – dadurch erhalten die Wafers immer konstante Bedingungen während des Trocknungsprozesses. Das Modul wird in Reinräumen der Klasse 1–100 eingesetzt, wobei keine Partikel entstehen – dies wird durch kontinuierliche Überwachung der Partikeldichte bestätigt. Der Heizer verwendet Materialien mit geringer Gasemission sowie einen versiegelten Wärmeleitweg – dadurch entsteht während des Trocknungsprozesses keine Kontamination. Die Leistung des Moduls ist für einen 24/7-Betrieb ausgelegt, wobei die Temperatur schrittweise gesteuert werden kann. Es kann außerdem über standardmäßige Industrieeinsätze in die Steuerkreise der AHU integriert werden.
Wichtig zu wissen: Das Trocknen des Fotoleitmittels ist kein einfacher Prozess – es handelt sich dabei um einen entscheidenden Schritt bei der Herstellung von Halbleitern. Selbst kleine Temperaturschwankungen führen zu Ungenauigkeiten in den Abmessungen der Wafers. Wir halten die Raumtemperatur auf der Waferoberfläche konstant – dadurch bleibt das Trocknungsverhalten von Charge zu Charge gleich. Dadurch wird eine bessere Kontrolle der Abmessungen ermöglicht, weniger Nacharbeiten sind notwendig, und das thermische Verhalten lässt sich besser vorhersagen. Zudem wird die Effizienz verbessert, da keine Energie mehr für unnötige Korrekturschritte verschwendet wird.
Bei der Installation muss man auf die Richtung des Luftstroms sowie auf die Toleranzen bezüglich des statischen Drucks in der AHU achten. Nicht passende Leitungen führen zu Mikroturbulenzen, die die Temperaturgleichmäßigkeit beeinträchtigen. Das Modul benötigt außerdem eine saubere Stromversorgung – Spannungsschwankungen führen zu kurzfristigen Temperaturschwankungen. Planen Sie daher den Inbetriebnahmeprozess entsprechend den Anforderungen der Lithografieeinheit und überprüfen Sie das Trocknungsprofil anhand Ihrer spezifischen Anforderungen.