Hören Sie auf, Energie in Ihren Wafer-Systemen zu verschwenden!
Wenn Sie Siliziumwafer erhitzen, zählt jeder einzelne Watt. Das Problem ist folgendes: Standardmäßige Gehäuse aus Edelstahl wirken wie Schwämme – sie saugen zu viel Infrarotenergie auf. Dadurch wird nicht nur Energie verschwendet, sondern das Gehäuse wird außerdem zu einer Art „Riesenkühlkörper“.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir die Innenfläche des Heizgehäuses mit hochreinem Gold ausgelegt haben.
Warum Gold?
Es geht hier nicht um Ästhetik. Es geht vielmehr darum, wie Gold mit Infrarotstrahlung umgeht. Die Halogen- oder Quarzlampen, die Sie verwenden, emittieren Wellenlängen, die Gold gerne zurückwirft. Anstatt dass das Gehäuse die Wärme aufnimmt, reflektiert die Goldschicht bis zu 98 Prozent der Photonen direkt auf den Wafer.
So kommt die Energie genau dorthin, wo sie hingehört.
Es gibt jedoch einige praktische Aspekte zu berücksichtigen. Wir bauen diese Gehäuse aus hochwertigem Edelstahl, damit sie bei hohen Temperaturen nicht verformen. Um sicherzustellen, dass das Gold nicht abblättert, wird es mittels Vakuumpuderung auf die Oberfläche aufgetragen.
Allerdings hat Gold auch seine Nachteile: Wenn Ihr Prozess korrosive Gase verwendet, kann die Beschichtung zerstört werden. Dann sinkt die Reflexionsfähigkeit und die Zykluszeiten nehmen zu. Wenn das bei Ihnen der Fall ist, verwenden Sie einfach einen schützenden Quarzschild, um das Gold sauber zu halten.
Was bringt das eigentlich für Sie?
Der größte Vorteil ist die Geschwindigkeit: Sie erreichen Ihre Zieltemperaturen viel schneller. Dadurch haben Sie zwei Möglichkeiten: Entweder reduzieren Sie die Leistung der Lampen, um den Stromverbrauch zu verringern, oder Sie verkürzen die Aufwärmzeit und können mehr Wafer pro Zeiteinheit verarbeiten.
Ein kleiner Tipp: Beim Anschließen der Komponenten sollten Sie unbedingt die PID-Controller richtig einstellen. Das System reagiert jetzt viel schneller – das müssen Sie berücksichtigen.
Außerdem bleibt der Rest der Maschine dank der gezielten Wärmezufuhr kühler. Die Kühllüfter müssen nicht mehr so hart arbeiten – das ist für alle ein Vorteil.