Ihren Klasse-100-Reinraum wirklich sauber halten
Wenn man einen Reinraum der Klasse 100 betreibt, stellt die Beheizung ein echtes Problem dar. Es geht nicht nur um die Temperatur – sondern auch um die unsichtbaren Stoffe, die entstehen. Die meisten Heizelemente sind schmutzig. Jedes Mal, wenn sie erwärmt oder abgekühlt werden, geben sie feine Partikel ab.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Wir verwenden Kohlenstofffaserfilamente, die in hochreinem synthetischem Quarz eingeschlossen werden.
Warum Quarz?
Weil er bei hohen Temperaturen nicht zerstört wird. Er gibt keine flüchtigen organischen Verbindungen ab. Da die Kohlenstofffaser im Vakuum innerhalb des Tubus eingeschlossen ist, können keine Partikel entweichen. Dadurch entsteht eine saubere Wärmequelle, die Ihre Wafer nicht beschädigt und Ihre optischen Komponenten nicht beeinträchtigt.
Die Geschwindigkeit
Diese Kohlenstofffaserlampen arbeiten sehr schnell – im Vergleich zu den alten Metallspulen, die lange Zeit benötigen, um warm zu werden. So erreichen diese Lampen die gewünschte Temperatur in Sekunden. Das ist ein großer Vorteil für Ihr HVAC-System, denn es muss nicht mit einer großen thermischen Belastung kämpfen.
Aber Achtung: Achten Sie auf die Leistungsdichte. Wenn Sie eine Hochleistungslampe in einen kleinen Raum setzen, wird es dort sehr heiß. Wenn die Befestigungselemente nicht dafür geeignet sind, kann der Tubus Risse bekommen. Verwenden Sie daher Federbelastete Befestigungen – dadurch kann das Glas beim Erwärmen „atmen“.
Installierung
Wir haben diese Lampen als Ersatz für herkömmliche IR-Lampen entwickelt – somit lassen sie sich einfach austauschen. Wir verwenden außerdem vergoldete oder hochwertige Nickelverbindungen. Warum? Weil Oxidation zu Funkenbildung führt – und Funken wiederum Partikel erzeugen.
Noch etwas Wichtiges: Hochreiner Quarz hasst Hautöle. Wenn Ihre Mitarbeiter während der Installation ohne Handschuhe den Glasbehälter berühren, bleiben diese Öle an der Oberfläche haften. Dadurch entstehen „heiße Punkte“, die den Tubus bereits vorzeitig zerstören können. Stellen Sie sicher, dass alle Tubusse vor dem Einschalten mit Reagenz-Qualität-IPA gereinigt werden.