Auf der Fertigungsebene kennen Sie den Ablauf. Eine Drift von ±0,5°C während des Photoresist-Backens reicht aus, um eine Charge von 500 Wafern...

Treten Sie in ein großes Lager im Winter ein, und die Kälte trifft Sie sofort. Standardheizungen blasen warme Luft nach oben, und sie bleibt einfach...