Hören Sie auf, darauf zu warten, dass der Ofen seine Arbeit erledigt: Wie goldbeschichtete IR-Lampen die Halbleiterfertigung beschleunigen
Wer schon einmal mit der Verarbeitung von Halbleitern zu tun hatte, kennt die Frustration, die damit verbunden ist – man muss einfach warten. Die Nutzung von Heißluft zur Erwärmung ist eine ineffektive Methode. Die Luft ist einfach nicht gut darin, Wärme zu transportieren. Man sitzt also da und wartet darauf, dass das Substrat endlich die richtige Temperatur erreicht. Das ist ein Engpass, der die Produktivität stark beeinträchtigt.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden. Anstatt die Luft zu erhitzen und darauf zu hoffen, dass die Wärme das Material erreicht, verwenden wir doppelte, goldbeschichtete Infrarotlampen, um die Wärme direkt auf das Material zu richten. Das Geheimnis liegt im Gold. Eine herkömmliche Quarzlampe verbraucht enorme Mengen an Energie – sie strahlt einfach in alle Richtungen ab. Doch wenn man die Innenseite des Quarzes mit Gold überzieht, reflektiert das Infrarotlicht direkt zurück auf das Werkstück. Anstelle eines schwachen Lichts erhält man somit einen konzentrierten Wärmestrahl genau dort, wo er benötigt wird.
Außerdem ermöglicht das Doppellamensystem es uns, viel mehr Wärme in das Werkstück zu leiten, ohne dabei eine große Heizfläche benötigen zu müssen. Es handelt sich dabei um eine kompakte Lösung, die aber eine hohe Leistung liefert.
Was noch wichtig ist: Diese Lampen sind nicht „Plug-and-Play“-Lösungen – man kann sie einfach nicht in einen alten Konvektionsofen einbauen. Sie erzeugen eine enorme Menge an Energie in einem sehr kleinen Bereich. Man muss sicherstellen, dass die Kühlsysteme ordentlich funktionieren – besonders an den Enden der Lampen. Auch die Stromversorgung muss zuverlässig sein. Falls die Spannung schwankt, können die hochdichten Filamente beschädigt werden. Und bitte verwenden Sie hochtemperaturbeständige Kabel. Wenn man normale Kabel verwendet, schmilzt die Isolierung bereits, bevor man überhaupt merkt, was passiert ist.