Ihre Klasse-100-Reinraumumgebung sauber halten
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich das Problem der Partikelbildung. Schon ein winziger Staubkorn oder etwas Abgas von einem Heizelement kann dazu führen, dass die Leistung der Halbleiterproduktion stark sinkt. Das ist frustrierend.
Deshalb haben wir auf Standardheizer verzichtet und stattdessen hochreine synthetische Quarztuben mit einer goldbeschichteten Oberfläche verwendet.
Warum Gold wichtig ist
Die meisten Infrarotlampen strahlen Wärme in alle Richtungen ab. In einem Halbleiterwerkzeug ist das jedoch verschwendetes Energieverbrauch. Es geht nur darum, dass die Wärme auf den Wafer trifft. Deshalb haben wir eine dünne Goldschicht auf die Rückseite der Quarztube aufgetragen. Diese fungiert wie ein Spiegel und leitet die gesamte Infrarotenergie nach vorne. Das Ergebnis: Eine deutlich höhere Wärmestärke – ohne dass die Leistung erhöht werden muss. Zudem ist Gold chemisch inert. Es oxidiert nicht und läuft auch nicht ab, sodass das Ziel einer „Null-Kontamination“ tatsächlich erreicht werden kann.
Staub auf den Materialien und die Wärme
Wir verwenden weiterhin hochreines Quarz, da es verhindert, dass Verunreinigungen bei hohen Temperaturen entstehen. Diese Lampen sind für solche Anwendungen geeignet – sie können schnelle Temperaturwechsel aushalten, ohne beschädigt zu werden.
Aber Vorsicht: Da die Goldbeschichtung so viel Energie nach vorne leitet, ist die Wärmestrahlung auf der Vorderseite sehr intensiv. Stellen Sie sicher, dass Ihre Kühlsysteme richtig dimensioniert sind. Andernfalls kann das Quarz an den Enden überhitzen.
Installation und Betrieb
Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie problemlos eingesetzt werden können. Die Dichtungen sind so gestaltet, dass keine Partikel entweichen können.
Ein Tipp zur Verkabelung: Stellen Sie sicher, dass die Stromversorgung stabil ist. Spannungsspitzen können die Glühfäden zerstören.
Und wenn die Leistung abnimmt? Meistens liegt das an Schmutz auf der Oberfläche des Quarzes. Nutzen Sie dazu Elektronikreiniger, um die Lampen gründlich zu reinigen.
Bitte benutzen Sie keine abrasiven Tücher – sie zerkratzen die Beschichtung und erzeugen genau die Partikel, die Sie eigentlich vermeiden möchten. Nutzen Sie lieber weiche Reinigungsmittel.