Hören Sie auf, Ihre Energie zu verschwenden
Wenn Sie einen Wafer erhitzen, ist es keine Lösung, einfach mehr Leistung einzusetzen. Es geht nicht darum, wie viel Energie Sie haben – sondern darum, wohin diese Energie tatsächlich fließt.
Meistens entweicht die Energie einfach in die Wände der Kammer. Das ist eine Verschwendung. Deshalb verwenden wir reflektierende Oberflächen, die mit Gold beschichtet sind. Anstelle zu lassen, dass die Wärme verloren geht, lenken wir sie wieder zurück auf das Substrat.
Warum Gold?
Denken Sie an eine herkömmliche Quarzlampe – sie gibt Energie in alle Richtungen ab, also in 360 Grad. Bei einem Heizer bedeutet das, dass die Hälfte der Energie bereits im Moment ihrer Erzeugung verloren geht.
Wir beheben dieses Problem mit einer dünnen Goldschicht. Das dient nicht nur dem Aussehen – Gold hat eine äußerst niedrige Emittance im Infrarotspektrum. Die Reflektionsrate liegt bei über 98 %. Im Grunde genommen wird fast jede einzelne Wattstunde, die der Glühfaden abgibt, als konzentrierte Strahlung zurückgeworfen.
Die richtige Temperatur erreichen
Der eigentliche Vorteil liegt in der Form des Reflektors. Durch Anpassung dieser Form können wir den Wärmestrom genau dorthin lenken, wo er benötigt wird – auf die Wafer.
Das ist besonders wichtig für die Erreichung der Zieltemperatur. So können Sie die gewünschte Temperatur schneller erreichen, ohne dass es zu unerwünschten Überschreitungen kommt. Zudem entsteht ein gleichmäßiges Wärmeprofil über die gesamte Oberfläche – somit gibt es keine „heißen Punkte“, die eine perfekt hergestellte Ladung von Wafers ruinieren könnten.
Ein paar Dinge, auf die man achten muss
Der Haken ist: Wenn man die Wärme so effektiv bündelt, steigt die Energiedichte. Sie müssen sicherstellen, dass Ihr Kühlsystem die übrig gebliebene Wärme bewältigen kann. Wenn die Luftzirkulation zu schwach ist, kann die Goldbeschichtung durch die Umgebungswärme beschädigt werden. Achten Sie daher auf die Oberfläche des Reflektors. Falls Sie Verfärbungen oder Verschmutzungen erkennen, sinkt die Effizienz des Systems.
Integration in Ihre Anlage
Das Beste daran: Diese Geräte können einfach dort eingebaut werden, wo früher die alten IR-Heizer waren. Sie können weiterhin die gleichen Stromquellen verwenden. Doch sobald die Geräte in Betrieb sind, werden Sie bemerken: Der Gesamtenergieverbrauch sinkt – obwohl die Wafers immer noch dieselbe Temperatur erreichen. Es handelt sich dabei einfach darum, die Energie, für die Sie bereits bezahlen, endlich effektiv zu nutzen.