Verhindern Sie, dass Ihr Wafer-Aushärtungssystem zu einem Ofen wird
Das Problem mit IR-Lampen ist folgendes: Sie strahlen Wärme in alle Richtungen ab – 360 Grad. In einer Halbleiterfabrik ist jede Wärme, die nicht auf den Wafer trifft, im Grunde verschwendet. Doch es geht noch schlimmer: Diese „verlorenen“ Energiemengen müssen irgendwohin gelangen – und treffen somit auf die Innenwände der Maschine. Wir haben bereits viele Fälle gesehen, in denen die Maschine so heiß wurde, dass eine Verbrühungsgefahr bestand. Das ist nicht das, was man von einem professionellen Arbeitsplatz erwarten kann.
Die Wärme genau dorthin lenken
Wir lösen dieses Problem, indem wir Präzisionsreflektoren verwenden. Anstatt die Wärme überallhin strahlen zu lassen, bündeln die Reflektoren die IR-Energie in einen stark fokussierten Strahl, der direkt auf den Wafer gerichtet ist. So wird die Energie genau dort konzentriert, wo sie benötigt wird. Da die Strahlung nicht mehr die Maschinenhülle erreicht, bleiben die Innenwände kühl. Ihre Mitarbeiter können den Außenbereich der Maschine berühren, ohne Angst haben zu müssen, sich zu verbrennen.
Die richtigen Materialien wählen
Wir verwenden in der Regel hochreines Aluminium oder Substrate, die mit Gold beschichtet sind. Gold eignet sich besonders für langwelliges IR-Licht – es reflektiert mehr Energie und oxidiert nicht, wenn die Temperaturen sehr hoch werden.
Wenn Sie Hochleistungs-Lampen verwenden, muss der Reflektor besonders widerstandsfähig sein. Wir wählen daher Materialien, die dieser thermischen Belastung standhalten können, ohne zu deformieren. Denn wenn der Reflektor verbogen wird, verschiebt sich der Brennpunkt – dadurch entsteht eine ungleiche Aushärtung des Wafers, was wiederum schwer zu beheben ist.
Die Kompromisse
Durch die Fokussierung der Wärme wird das Sicherheitsproblem gelöst – doch dadurch entsteht auch viel mehr Druck auf den Wafer. Die Aufwärmzeit verkürzt sich zwar, aber es gibt ein Problem: Wenn der PID-Regler nicht richtig eingestellt ist, könnte die Temperatur überschritten werden. Stellen Sie daher sicher, dass Ihre Sensoren korrekt kalibriert sind, um mit dem stark fokussierten Strahl umzugehen. Achten Sie außerdem auf die Kühlventilatoren – Sie möchten schließlich vermeiden, dass überschüssige Wärme um die Lampenanschlüsse herum entsteht.