Đảm bảo an toàn khi sử dụng đèn hồng ngoại để làm nóng wafer
Hãy thành thật mà nói: việc kết hợp các đèn hồng ngoại có nhiệt độ cao với các chất lỏng dễ cháy chính là nguyên nhân gây ra những hậu quả tồi tệ. Trong quy trình làm sạch wafer bằng hóa chất, điều cuối cùng mà chúng ta muốn chính là có một nguồn lửa gần các hơi độc hại.
Chúng tôi đã tìm ra cách tốt hơn để xử lý vấn đề này. Thay vì sử dụng các đèn thông thường, chúng tôi bọc chúng trong những lớp vỏ đặc biệt.
Tìm ra vị trí lý tưởng để đặt đèn
Việc xác định vị trí đặt đèn cũng cần được cân nhắc kỹ lưỡng. Nếu đặt chúng quá gần wafer, bạn sẽ gặp phải tình trạng “điểm nóng” trên bề mặt wafer – điều này rất nguy hiểm. Nhưng nếu đặt chúng quá xa, hiệu suất làm nóng sẽ giảm, và thời gian xử lý sẽ kéo dài.
Để khắc phục điều này, chúng tôi đặt các bộ phận tạo nhiệt bên trong những lớp vỏ được làm từ sapphire hoặc thạch anh có khả năng chống hóa chất. Điều này giúp bảo vệ đèn khỏi không khí xung quanh; ngay cả khi có sự rò rỉ hóa chất, đèn vẫn không thể gây ra hỏa hoạn.
Đảm bảo độ bền của đèn
Độ ổn định là yếu tố quan trọng nhất. Chúng tôi sử dụng thạch anh được phủ lớp bảo vệ hoặc thiết kế hai lớp vỏ để tránh tình trạng sốc nhiệt. Khi nhiệt độ của chất tẩy rửa thay đổi, những chiếc đèn rẻ tiền sẽ nhanh chóng bị hỏng. Ngoài ra, lớp vỏ bảo vệ còn giúp ngăn chặn độ ẩm và các khí ăn mòn. Thông thường, đây chính là nguyên nhân khiến đèn bị hỏng. Thiết kế này giúp ngăn chặn điều đó.
Nhược điểm
Tuy nhiên, việc sử dụng lớp vỏ bảo vệ cũng có nhược điểm. Bạn sẽ mất đi một phần nhiệt lượng mà đèn tạo ra. Tuy không nhiều, nhưng lớp vỏ vẫn hấp thụ một phần năng lượng trước khi nó tác động lên wafer. Bạn cần điều chỉnh nguồn điện để bù lại sự mất mát này, nếu muốn duy trì tốc độ làm nóng ở mức mong muốn.
Một điều nữa cần lưu ý: đừng quên vấn đề dòng khí. Ngay cả với những chiếc đèn được bảo vệ kỹ lưỡng, bạn vẫn cần hệ thống thông gió hoạt động tốt để duy trì mức độ chất lỏng dưới ngưỡng nguy hiểm. An toàn luôn là ưu tiên hàng đầu.