Wafer İşleme Sırasında Karbon Emisyonlarını Azaltmak (Akıl sağlığınızı kaybetmeden)
Günümüzde her yarı iletken üretim tesisinin, net sıfır hedeflerine ulaşmak için büyük baskı altında olduğunu görüyoruz. Ancak enerjinin nerede harcandığına bakıldığında, bunun büyük bir kısmının waferlerin ısıtılması ve kurutulması sırasında ortaya çıkan atık ısı olduğu anlaşılıyor.
Eski yöntemler – yani büyük konveksiyon fırınları – aslında tüm mutfak havasını ısıtarak tek bir bezelyeyi ısıtmaya çalışmak gibidir. Bu da büyük bir enerji israfı demektir. Biz ise hassas IR sensörleri ve sadece waferleri hedef alan ısıtma sistemleri kullanarak daha iyi bir çözüm bulduk.
Duvarları Isıtmayı Bırakın
Sorun şu: Eğer ısıtma eşit olmazsa, ürünler bozulur. Bu da zaman ve para israfı demektir. Biz, yüksek hızlı piyrometrelerle birlikte kullanılan kısa dalga boylu IR lambalarını kullanarak bir döngü oluşturuyoruz. Böylece her yeri değil, sadece silikonun emdiği belirli dalga boylarını hedefliyoruz. Sonuç olarak, odanın duvarlarını ısıtmak için gereksiz enerji harcamaktan kurtuluyorsunuz. Daha hızlı ısınma gerçekleşiyor, her wafer başına gereken enerji miktarı azalıyor ve enerji faturanız düşüyor. Bu tamamen mantıklı bir yaklaşımdır.
Hız ve Kontrol
Bu sensörlerin milisaniyeler içinde tepki vermesini sağlıyoruz. Eğer wafer yüzeyinde bir sıcak nokta oluşursa, sistem hemen IR ışınımını azaltıyor. Bu, sürekli olarak sıcaklığı aşan eski dirençli ısıtıcılarla kıyaslandığında çok daha iyi bir çözümdür. Ayrıca, elemanları kuvarsla kaplayarak ısıtma yüzeyindeki kirlerin önüne geçiyor ve tüm sürecin temiz kalmasını sağlıyoruz.
Ancak Bir Engel Var: Enerji ve Soğutma
Yüksek yoğunluklu IR dizileri ısıyı hızlı bir şekilde iletiyor, ancak aynı zamanda çok fazla radyasyon enerjisi de üretiyor. Bunları eski şasiye yerleştirip işin bitti sanamazsınız. Eğer soğutma sisteminiz bu ekstra enerji yükünü kaldıramazsa, kontrol elektronikleri zarar görebilir. Öncelikle soğutmayı doğru şekilde sağlamak gerekiyor.
Bu Durumun Gerçekte Anlamı Nedir?
Hassas IR teknolojisine geçtiğinizde, ısıtma sisteminizin fiziksel boyutları küçülüyor. Devasa ve yavaş çalışan ısıtma sistemlerinden uzaklaşıp, “anında çalışan” kompakt sistemlere geçmiş oluyorsunuz. Bu sayede “yeşil fabrika” kavramı artık sadece bir reklam sloganı olmaktan çıkıp gerçek bir durum haline geliyor. Üretim sürecinde gereken enerji miktarını azaltarak, ürettiğiniz her çipin CO2 maliyetini düşürebilirsiniz.