Wafer kurutma sisteminizin fırına dönüşmesini engelleyin
IR lambalarının sorunu şudur: Isıyı her yöne yayıyorlar; yani 360 dereceye kadar radyasyon oluşuyor. Yarı iletken üretim süreçlerinde, wafer’e ulaşmayan tüm ısı aslında boşa harcanmış olur. Ama bu durum bundan daha kötüdür; çünkü bu enerji bir yere gitmek zorunda kalıyor ve doğrudan makinenin iç duvarlarına çarpar. Birçok durumda, makinenin gövdesi o kadar ısınıyor ki, yanma riski ortaya çıkıyor. Bu, profesyonel bir çalışma ortamında olması gerektiği gibi değil.
Isının doğru yere yönlendirilmesi
Bunu çözmek için hassas yansıtıcılar kullanıyoruz. Isının her yere dağılmasını engelleyerek, bu IR enerjisini wafer’e doğrudan ulaşacak şekilde odaklıyoruz. Böylece enerji tam da ihtiyaç duyulan yere yoğunlaşıyor. Ayrıca, radyasyon artık makinenin gövdesine çarpmadığı için iç duvarlar serin kalıyor. Böylece operatörler, acil durum malzemelerine başvurmadan makinenin dış kısmına dokunabilirler.
Doğru malzeme seçimi
Genellikle yüksek saflıkta alüminyum veya altın kaplamalı malzemeler kullanıyoruz. Uzun dalga boyundaki IR ışınları için altın en iyi seçenektir; çünkü daha fazla enerjiyi yansıtır ve aşırı ısıda oksitlenmez. Eğer yüksek güçlü lambalar kullanıyorsanız, yansıtıcının buna dayanabilmesi gerekir. Eğer yansıtıcı bükülürse, odak noktası değişir ve wafer üzerinde eşit olmayan bir kuruma meydana gelir; bu da düzeltmesi çok zor bir durumdur.
Tercihler arasındaki denge
Isının odaklanması güvenlik sorununu çözer, ancak wafer üzerinde daha fazla baskı oluşturur. Isınma süresinin çok daha hızlı olduğunu göreceksiniz. Bu güzel bir şey, ancak bir dezavantajı var: Eğer PID döngüsü bu ekstra yoğunluğa uygun şekilde ayarlanmamışsa, hedef sıcaklığın üzerine çıkılabilir. Yoğunlaştırılmış ışını yönetebilmek için sensörlerin kalibrasyonunu tekrar kontrol etmelisiniz. Ayrıca soğutma fanlarını da kontrol edin; böylece lamba soketlerinin etrafında arta kalan ısının birikmemesi sağlanır.