Fab klima ısıtıcı modülü
300 mm’lik üretim hatlarında, litografik işlemler için gerekli olan alanın sıcaklık kontrolü çok önemlidir. Eğer AHU ısıtıcısının performansı...
Bölgesel kızılötesi ısıtma modülü
Üretim alanında, “yumuşak pişirme” ve “sert pişirme” işlemleri sadece sıcaklık ayarları değildir; aynı zamanda tolerans ayarlarıdır. 1°C’lik bir...