300 mm’lik üretim hatlarında, litografik işlemler için gerekli olan alanın sıcaklık kontrolü çok önemlidir. Eğer AHU ısıtıcısının performansı bozulursa, fırının sıcaklık profili de buna bağlı olarak değişir ve bu durumda hata tespit cihazları herhangi bir sorunu tespit etmeden önce bile verimlilik düşmeye başlar. Biz ise, ısıl alanın sabit kalmasını sağlamak için Fabrikasyon Klima Isıtıcı Modülü’nü tasarladık; bu modül, waferin bulunduğu yerde istikrarlı bir sıcaklık ortamı sağlar.
Önemli olan şeyler:
Kullanılan hava akışı üzerinde ±0,1°C’lik bir sıcaklık düzenliliği sağlanır; böylece fırın, tekrarlanabilir koşullarda çalışır. Bu modül, parçacık üretimi olmayan 1–100 sınıfı temiz odalarda çalışır ve yerinde yapılan parçacık izleme işlemleriyle bunun doğrulanması sağlanır. Isıtıcı, düşük gaz salımı yapan malzemeler kullanır ve kapalı bir ısı iletim yoluna sahiptir; böylece yumuşak veya sert fırınlama işlemleri sırasında kirlenme meydana gelmez. Modülün çıkış gücü, 24/7 çalışma için uygun şekilde ayarlanmıştır ve standart endüstriyel arayüzler aracılığıyla mevcut AHU kontrol sistemleriyle entegre edilebilir.
Foto dirençlerin fırınlanması basit bir işlem değildir; bu işlem, boyutsal hassasiyet açısından çok önemlidir. Küçük sıcaklık değişiklikleri bile kritik boyut değişikliklerine ve kenar bölgelerindeki eşitsizliklere neden olur. Waferin bulunduğu yerde oda sıcaklığının sabit tutulması sayesinde, her parti için aynı sonuçlar elde edilir. Böylece daha iyi bir boyut kontrolü sağlanır, yeniden işlemler azalır ve tahmin edilebilir bir ısı profilinin elde edilmesi mümkün olur. Ayrıca, enerji israfının da önlenmesiyle verimlilik artar.
Montaj sırasında hava akış yönüne ve AHU’nun statik basınç toleranslarına dikkat edilmesi gerekir; uyumsuz boru sistemleri mikro-türbülanslara neden olur ve bu da sıcaklık düzenliliğini bozar. Modülün ayrıca temiz bir güç kaynağına ihtiyacı vardır; voltaj dalgalanmaları kısa vadeli sıcaklık değişikliklerine yol açar. Modülün devreye alınma süreci, litografik işlemlerle senkronize şekilde planlanmalı ve profil, belirli direnç dizisinin özelliklerine göre doğrulanmalıdır.