Üretim tesislerinde, termal bütçe asla aşılmaması gereken bir sınırdır. İmplante işleminden sonra, aktivasyon sıcaklığına kesin bir şekilde ulaşılmalıdır. Eğer bu sağlanamazsa, devrenin direnci değişir ve cihazların verimliliği düşer.
Geleneksel sıcak plaka yöntemleriyle elde edilen sonuçlar istikrarsız olur ve zaman kaybına neden olur. Süreç penceresi hızla daralır.
Arka planda önemli olan şeyler
Dopant aktivasyonunu kısa dalga boylu halojen yayıcıları ve kuvars destekli termal tasarım kullanarak gerçekleştirdik. Enerji doğrudan waftan içine hızlı ve temiz bir şekilde geçer. 300 mm’lik waflarda bile, değerler ±0,1°C aralığında tutulur. Bu sayede, yumuşak pişirme ve sert pişirme işlemleri sırasında termal durum sabit kalır.
Temiz oda sınıfı 1–100, sistemde entegre edilmiştir: Düşük gaz salınımına sahip malzemeler, kapalı odalar ve partikül üretiminin engellenmesi sayesinde litografi ve aşındırma işlemleri sırasında partikül sayısı sabit kalır. Sistem 24/7 çalışır ve planlanmamış arızalar olmaz. Kontrol sistemi de fotoresistin pişirme sıcaklığını ±0,2°C’den daha düşük seviyede tutar; böylece kritik boyutlar korunmuş olur.
Neden bu yöntem yüksek hacimli üretim için uygundur?
Üretimde tekrarlanabilirlik çok önemlidir. Kızılötesi ısıtıcılar, aktivasyon işlemlerinin süresini azaltırken termal stresi de kontrol altında tutar. Böylece fotoresist profilleri hem yumuşak hem de sert pişirme işlemlerinden sonra stabil kalır.
Daha az revizyon gerekiyor. Devrenin direnci daha düzenli. Her waft için harcanan enerji daha az. Yüksek hacimli üretimde bu, planlanabilir bir üretim hızı ve daha düşük maliyet anlamına gelir.
Dikkat edilmesi gerekenler
Kurulum sırasında hassas optik hizalama ve temiz oda basınç farklarını kontrol altında tutacak özel bir havalandırma sistemi gereklidir. Isıtıcıların çıkış gücü, belirli waft ve filmlere göre ayarlanmalıdır.
Uygulamaya özel reçeteler sunuyoruz; ancak yine de implante işlemleri ve pişirme prosedürleri için önceden test yapılması gerekmektedir. Kalibre edildikten sonra sistem oldukça toleranslı olur. Ancak bu kurulum adımı isteğe bağlı değildir.