Litografi işlemlerinde, fotoresistin ısıtılması sırasında meydana gelen yarım derecelik bir sapma küçük bir sorun değildir. Bu durum, elektriksel...

300 mm hatlarında fırın oldukça stabil görünüyor; ancak yumuşak pişirme işleminden sonra fotorezist profili yine de değişiyor. Bu durum, aşındırma...

300 mm’lik waferin raylardan düşüp fırın modülüne girdiğini izleyin. Foto dirençlerin belirlenen sıcaklığa ulaşması gerekiyor; her bir waferde bu...