Litografi işlemlerinde, fotoresistin ısıtılması sırasında meydana gelen yarım derecelik bir sapma küçük bir sorun değildir. Bu durum, elektriksel testlerde verim düşüklüğüne ve yeniden işlem gerektiren durumlara yol açar. Waferin IR ısıtılması sırasında sadece belirli bir sıcaklık seviyesine ulaşmak yeterli değildir; aynı zamanda tüm wafer üzerinde stabil ve tekrarlanabilir bir ısı dağılımı sağlanmalıdır. Ayrıca kirlilik oluşmamalıdır.
Önemli olan şeyler
Wafer için IR sistemini, hızlı tepki veren ve hassas ısı kontrolü sağlayan kuvars destekli modüller kullanarak tasarladık. 300 mm’lik waferlerde sıcaklık tutarlılığını ±0,1°C içinde tutuyoruz ve üretim süreçlerindeki tekrarlanabilirlik de birkaç miligrad arasında kalıyor. Oda, Class 1’dan Class 100’e kadar olan temiz oda standartlarına uygun şekilde tasarlanmıştır; düşük gaz salınımı yapan malzemeler ve parçacık kontrolü sağlayan hava akış sistemi sayesinde parçacık miktarı en aza indiriliyor. Sıfır parçacık üretimi bir slogan değil; bu, yüzey kalitesi, mühürleme yöntemleri ve fotoresistin yan ürünlerinin tekrar birikmesini engelleyen bir havalandırma stratejisine bağlıdır.
Fotoresist işlemlerinde, yumuşak ısıtma işlemi çözücülerin giderilmesini ve filmin stres durumunu belirlerken, sert ısıtma işlemi ise imajın aşındırılması için hazır hale getirilmesini sağlar. IR ısıtma hızlı ve sabit bir şekilde uygulandığında, döngü süresi kısaltılabilir ve profil kontrolü kaybedilmez.
Daha sıkı ısı kontrolü, daha az yeniden işlem gerektirir, daha tutarlı sonuçlar elde edilir ve aşırı ısıtma veya soğutma nedeniyle enerji israfı azalır. Sistem, öngörülebilir bakım aralıklarıyla 24/7 çalışır; böylece plansız duruşlar azalır ve üretim planlaması stabil kalır.
Yüksek hassasiyetli IR ısıtma, farklı filmler ve substratlar arasındaki emisivite farklarına karşı duyarlıdır. Her substrat için lamba gücü ve zaman ayarlarının yapılması gerekmektedir. Ayrıca, kaplama cihazlarıyla olan uyumluluğun da kontrol edilmesi gerekir.
İlk kalifikasyon süreci zaman alır. Ancak bir kez prosedür belirlendikten sonra, lamba çıkışı ve sıcaklık kalibrasyonu gibi rutin kontrollerle süreç istenen standartlarda devam eder.