IR ışınlarıyla wafерleri ısıtırken güvenliği sağlama
Dürüst olalım: Yüksek sıcaklıkta çalışan kızılötesi lambaları yanıcı çözücülerle bir araya getirmek, berbat sonuçlara yol açar. Wafерlerin kimyasal olarak temizlenmesi aşamasında, patlayıcı buharların hemen yanında bir ateş kaynağının bulunması istenmeyen bir durumdur.
Bu sorunu çözmek için daha iyi bir yöntem bulduk. Açık elementli lambalar yerine, bunları özel kaplamalarla sarıyoruz.
“En iyi noktanın” belirlenmesi
Lambaların nereye yerleştirileceği konusunda bir denge kurmak gerekiyor. Eğer lambalar çok yakına yerleştirilirse, wafер üzerinde “sıcak noktalar” oluşur; bu da iyi değildir. Ama lambalar çok uzakta yerleştirilirse, ısı verimliliği düşer ve işlem süreleri uzar. Bu sorunu çözmek için, ısıtma elemanlarını safir veya kimyasallara dayanıklı kuvars malzemelerden yapılan kaplamaların içine yerleştiriyoruz. Bu sayede lambanın elektriksel arkları çevresindeki havadan uzak tutulur; böylece kimyasal sızıntı olsa bile lamba yangına neden olmaz.
Uzun ömürlülük
Burada önemli olan şey stabilitedir. Termal şoklar ciddi sorunlara yol açabileceğinden, kaplı kuvars veya çift duvarlı tasarımlar kullanıyoruz. Temizleme sıvılarının sıcaklığı değiştikçe, ucuz lambalar kırılır. Ayrıca bu kaplamalar nem ve zararlı gazların içeri girmesini engeller. Genellikle lambaların arızalanmasının sebebi budur; elektrotlar zamanla aşınır. Bu tasarım ise bunun olmasını engeller.
Karşılaşılan zorluklar
Tabii ki bir dezavantaj da var. Bu koruyucu kaplamalar yüzünden bir miktar ısı kaybı yaşanır. Çok fazla değil, ancak kaplama, enerjinin bir kısmını wafерlere ulaşmadan önce emer. Eğer hızınızı tam olarak istediğiniz seviyede tutmak istiyorsanız, güç kaynağınızı ayarlamanız gerekecek.
Son bir nokta: Hava akışını unutmayın. Bu kapalı lambalar olsa bile, çözücü seviyelerini patlayıcı sınırın altında tutmak için egzoz sisteminizin iyi çalışması gerekiyor. Güvenlik her zaman önceliklidir.