Het veilig houden van de situatie bij het verwarmen van wafers met infraroodlicht
Laten we eerlijk zijn: het combineren van hoge temperatuur-infraroodlampen met brandbare oplosmiddelen leidt tot grote problemen. Tijdens het chemisch reinigen van wafers wil je absoluut geen brandbare stoffen in de buurt hebben.
We hebben een betere manier gevonden om dit aan te pakken. In plaats van open elementen te gebruiken, worden ze omhuld door speciale behuizingen.
Het vinden van het ‘ideale punt’
Het is belangrijk om goed na te denken over waar de lampen geplaatst moeten worden. Als ze te dicht bij elkaar staan, ontstaan er ‘ hete punten’ op de wafer. Dat is niet goed. Maar als ze te ver weg staan, neemt de efficiëntie van de lamp af en nemen de verwerkingstijden toe.
Om dit op te lossen, worden de verwarmende elementen geplaatst in gesloten behuizingen gemaakt van saffier of chemisch bestendig kwarts. Dit fungeert als een soort fysiek schild. Hierdoor blijft de elektrische lichtbundel uit de buurt van de lucht eromheen. Zelfs als er een chemische lekking optreedt, zal de lamp niet in brand raken.
Langdurige betrouwbaarheid
Betrekkingsvolheid is hier cruciaal. We gebruiken gekleurd kwarts of een dubbele wandstructuur, omdat thermische schokken gevaarlijk kunnen zijn. Als de reinigingsvloeistoffen van temperatuur veranderen, kan een goedkope lamp kapotgaan.
Bovendien voorkomt de gesloten behuizing dat vocht en schadelijke gassen binnendringen. Meestal is dit de oorzaak van storingen bij lampen: de elektroden worden dan beschadigd. Deze constructie voorkomt dit.
De nadelen
Er is echter één nadeel: door het gebruik van deze beschermende behuizingen gaat wat warmte verloren. Niet veel, maar de behuizing neemt wel een deel van de energie op voor deze bij de wafer komt. Je moet dus de stroomvoorziening aanpassen om deze verliezen goed te maken.
Een laatste tip: vergeet de luchtcirculatie niet. Zelfs met deze gesloten lampen moet het afvoersysteem nog steeds goed werken, zodat het niveau van de oplosmiddelen onder de veilige grens blijft. Veiligheid staat altijd voorop.