Op de productielijn zijn de verschillende benodigde temperatuurwaarden geen simpele temperatuurniveaus – ze vertegenwoordigen eerder tolerantieramen. Een afwijking van 1°C heeft invloed op de vereiste precisie van de afmetingen van het product. Bovendien kan een plek met te hoge temperatuur leiden tot een verminderde productie. Daarom hebben we infraroodverwarmingsmodules ontworpen die het mogelijk maken om de temperatuur precies onder controle te houden.
Wat technisch gezien belangrijk is:
We gebruiken kortegolflange infraroodemitters die worden bestuurd door snelle drivers. Hierdoor wordt de warmte precies waar en wanneer het nodig is gegenereerd. De module is opgedeeld in losse zones die apart kunnen worden geregeld. Hierdoor kan de temperatuur per zone worden aangepast, in plaats van dat er een gemiddelde temperatuur wordt gehanteerd. In praktijk resulteert dit in een uniformiteit van ±0,1°C op het niveau van de wafer. Ook de temperatuur van de fotoresistent blijft binnen ±0,5°C van het gewenste niveau, cyclus na cyclus. Het gebruik van kwartsvrije materialen zorgt ervoor dat er geen deeltjes op de wafer terechtkomen. Dit is precies wat nodig is voor werken in een schone ruimte van klasse 1–100.
Waarom deze oplossing goed werkt in een lithografielijn:
U kunt zich geen ongeplande stilstand veroorloven. Deze infraroodmodule werkt 7×24 uur per dag zonder enige stilstandsperioden. Het thermische systeem is zo ontworpen dat het langer dan 10.000 uur meegaat. Het systeem is eenvoudig in gebruik, modulair en kan op zone-niveau worden geregeld.
De voordelen zijn duidelijk:
Er is een snellere aanpassing van de temperatuur tot het gewenste niveau. De reproduceerbaarheid binnen een batch is beter, en er wordt minder afval geproduceerd door ongelijkmatige verhitting. Ook de energieverbruik neemt af, omdat alleen de nodige zones worden verwarmd.
Een paar zaken om rekening mee te houden:
Voor de installatie is een aparte stroomvoorziening nodig, evenals zuivere en koele luchtstroom om de temperatuur van de emitters stabiel te houden. De module past goed bij bestaande apparatuur, maar het maximale effect wordt bereikt wanneer de module wordt gecombineerd met een strategie die gebruikmaakt van zonecompensatie voor randeffecten.
Eén beperking is dat het aantal zones per frame vastligt. Plan dus van tevoren hoeveel zones er nodig zijn, in overeenstemming met de grootte van de wafer en de vereisten voor randcontrole.