Kijk hoe een wafer van 300 mm van het spoor valt en in de oven terechtkomt. De fotorezist moet op de juiste temperatuur komen te staan – schoon en gelijkmatig over het hele oppervlak van de wafer. Als er sprake is van een verschil van 1°C in de temperatuur in bepaalde gebieden, of als er koude plekken ontstaan aan de randen, dan wordt de controle over de cruciale dimensies verstoord. De productie stopt dan.
Wat echt belangrijk is We hebben de oven ontworpen met zogenaamde ‘zonale verwarming’. Hierdoor kunnen de verschillende elementen snel reageren en wordt de temperatuur over het hele oppervlak van de wafer gelijkmatig gehouden. Tijdens het proces blijft de temperatuur binnen een marge van ±0,1°C. Dit zorgt ervoor dat de fotorezist op de juiste manier wordt verwerkt en dat er geen problemen ontstaan door golven in de temperatuur.
Kwarts en kortegolfröntgenbronnen zorgen voor snelle en efficiënte warmteoverdracht, zonder veel deeltjes. De controller houdt in real-time toezicht op elke zone, zodat er compensatie kan worden geboden voor effecten aan de randen en voor verschillen tussen de verschillende zones.
Waarom dit werkt in een echte fabriek In schone ruimtes van klasse 1–100 mag je geen rekening houden met het aantal deeltjes. Deze zonale modules veroorzaken geen extra deeltjes tijdens het thermische proces. Hierdoor blijft de kwaliteit van de producten op het gewenste niveau. Je krijgt dus een hogere precisie bij het verwerken van de fotorezist, minder defecte producten, en een beter begrip van de energieverbruik.
Het energieverbruik neemt af, omdat alleen de zones die nodig zijn worden verwarmd. Het resultaat is een consistente kwaliteit van de producten, minder afval en mogelijkheid om 24/7 te produceren zonder problemen.
De praktische details die je goed moet regelen Het is belangrijk om de afmetingen van de oven, de gasstroompatronen en de ventilatie goed af te stemmen. Bestaande quartzproducten moeten eerst worden gecontroleerd op compatibiliteit met het nieuwe systeem en de temperatuurprofielen.
Voer eerst een kort testproces uit om de optimale instellingen voor jouw specifieke applicatie vast te stellen. Eenmaal dit gedaan, blijft het proces stabiel, ongeacht wanneer er nieuwe waferbatchen worden verwerkt of wanneer de omstandigheden veranderen door seizoenswisselingen.