Op de lithografielijn betekent een afwijking van een halve graad tijdens het verhitten van de fotoresist geen klein probleem. Het resultaat is dat er fouten optreden tijdens de elektrische tests, en dat er ook meer deeltjes ontstaan die tot problemen leiden. Het IR-verwarmingssysteem moet niet alleen een bepaalde temperatuur bereiken, maar ook een constante en herhaalbare temperatuur over het hele wafer verspreiden, zonder dat er vervuiling ontstaat.
Wat belangrijk is onder de motorkap Wij hebben het IR-verwarmingssysteem gebouwd met behulp van kortegolflange infraroodhalogeenemitters in een kwartsversterkt module. Dit zorgt voor een snelle reactie en nauwkeurige temperatuursturing. Op een 300 mm grote wafer houden we de temperatuur binnen ±0,1°C. De herhaalbaarheid tussen verschillende producties blijft binnen enkele milligraden. De kamer is geschikt voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1 tot 100. Hierbij worden materialen gebruikt die weinig gas afgeven, en wordt de luchtcirculatie zo geregeld dat er zo min mogelijk deeltjes ontstaan. Het doel is om geen deeltjes te produceren – dit hangt af van de oppervlaktekwaliteit, de keuze van de afsluitingen en een goede afvoer van afvalstoffen.
Bij het verwerken van fotoresist speelt de zachte verhitting een rol bij het weghalen van oplosmiddelen en het regelen van de spanning in de laag. De harde verhitting zorgt ervoor dat de afbeelding klaar is voor het eten. Als de IR-straling snel en stabiel op het doelwit terechtkomt, kan de cyclusduur worden verkort, zonder dat de kwaliteit van het product verslechtert.
Een nauwkeuriger temperatuurenhancering betekent minder herwerkingswerk, meer consistente resultaten en minder energieverlies. Het systeem werkt 24/7, met regelmatige onderhoudsintervallen. Hierdoor wordt onplanmatoir stilstand verminderd en blijft de productie op schema.
Hogeprecisie IR-verwarming is gevoelig voor verschillen in emissiviteit tussen verschillende lagen en substraatsoorten. Het is dus nodig om de sterkte van de lampen en de parameters voor elke substraat aan te passen. Ook moet er goed worden gecontroleerd of alles goed is opgesloten in het systeem.
De initiële kalibratie duurt wel even. Maar zodra de parameters zijn vastgesteld, blijft het proces binnen de vereisten, dankzij regelmatige controles van de lampuitgang en de temperatuurkalibratie.