Voorkom dat uw wafercuringsysteem verandert in een oven
Het probleem met IR-lampen is dat ze hitte in alle richtingen uitzenden: 360 graden straling. In een halfgeleidersapparaat is elke vorm van hitte die niet op de wafer terechtkomt eigenlijk verspilling. Maar het is nog erger: die overtollige energie moet ergens naartoe, en dus belandt deze rechtstreeks tegen de binnenwanden van het apparaat. We hebben al te vaak gezien dat het chassis zo heet wordt dat het zelfs een brandgevaar vormt. Dat is zeker niet wat je zou willen in een professionele werkomgeving.
De hitte op de juiste plek brengen
We lossen dit op door precisiegeluiders te gebruiken. In plaats van dat de hitte overal heen wordt gestuurd, wordt de IR-energie via de geluider gefocust op de wafer. Hierdoor komt de energie precies waar het nodig is. Omdat de straling niet meer tegen de buitenwanden van het apparaat komt, blijven deze koel. Uw medewerkers kunnen de buitenkant van het apparaat dan gewoon aanraken, zonder bang te hoeven zijn voor brandwonden.
De juiste materialen kiezen
Meestal gebruiken we aluminium of goudcoatingd materiaal van hoge zuiverheid. Goud is ideaal voor langgolvige IR-straling, omdat het meer energie weerkaatst en niet oxiderend is wanneer het erg heet wordt. Als u lampen met hoge vermogens gebruikt, zal de geluider flink onder druk komen te staan. We kiezen daarom materialen die deze thermische spanning kunnen verdragen zonder te buigen. Anders verschuift het focuspunt, waardoor de wafer niet gelijkmatig wordt gevormd. Dat is een groot probleem om op te lossen.
De nadelen
Het fokken van de hitte lost het veiligheidsprobleem op, maar het zorgt er wel voor dat er meer druk op de wafer komt te staan. U zult merken dat de opwarmtijd veel sneller is. Dat is fijn, maar er is ook een nadeel: u kunt de gewenste temperatuur gemakkelijk overschrijden als de PID-regeling niet goed is ingesteld. Controleer dus goed de kalibratie van de sensoren. Kijk ook even naar de koelpaden: u wilt immers voorkomen dat er nog warmte rondom de lampen blijft steken.