Stop de ‘glasregen’: houd je UHP-verwarmingssystemen veilig
In een fabriek voor halfgeleiders met hoge belastingen is het een nachtmerrie wanneer een verwarmerlamp kapotgaat. Het gaat niet alleen om de stilstand – ook al is dat vervelend – maar ook om de contaminatie die hierdoor ontstaat. Wanneer een kwartstube bij een siliciumwafer kapotgaat, komen er stukjes glas vrij die de hele batch onmiddellijk onbruikbaar maken.
Wij bouwen onze Ultra High Purity (UHP)-lampen speciaal zodat u zich geen zorgen hoeft te maken over dit probleem.
Het voorkomen van contaminatie
We gebruiken hoogwaardig synthetisch kwarts. Dit materiaal is schoon en degradeert niet onder extreme temperaturen. Maar we stoppen daar niet bij.
Om te voorkomen dat scherpe stukjes glas in contact komen met de wafers, voegen we een beschermende huls toe. Denk hierbij aan een soort ‘veiligheidsnet’. Als het binnenste filament kapotgaat, vangen deze hulzen de scherpe stukjes op, zodat ze de wafers niet kunnen beschadigen.
We letten ook goed op de gasvulling en de sluitingen. Waarom? Omdat plotselinge drukstijgingen gevaarlijk kunnen zijn. Wanneer de lamp langdurig op maximale sterkte wordt gebruikt, zal het materiaal uitzetten. We hebben de uitzettingsruimtes precies berekend, zodat de buis niet kan buigen of barsten.
Hitte, vermogen en het probleem van ‘flitsen’
Lampen met hoge vermogens zorgen voor de benodigde snelheid, maar ze belasten de elektrische contactpunten. We gebruiken elektroden die precies passen, zodat er geen spanningen ontstaan. Spanningen kunnen leiden tot kleine hete plekken, waardoor het glas te vroeg kapotgaat.
Nog één punt: houd de stroomvoorziening in de gaten. Als de spanning fluctueert, zal het filament ‘flitsen’. Dit veroorzaakt mechanische slijtage. Het klinkt misschien niet zo belangrijk, maar een stijging van 5% in de spanning kan honderden uren van de levensduur van de lamp wegnemen. Het is gewoon geen risico dat het waard is.
De compromissen
Eerlijk gezegd maakt het toevoegen van deze veiligheidsmaatregelen de installatie wat complexer. De beschermende hulzen belemmeren ook een beetje de overdracht van infraroodstraling. Mogelijk moet u de stroomsterkte met 2-5% verhogen om de gewenste snelheid te behouden.
Het is een kleine prijs om te betalen. In vergelijking met de kosten van het weggooien van een batch met besmette wafers, is dit zeker de moeite waard.