真空室红外加热器

如何保持真空室内的清洁状态 在100级洁净室中工作时，哪怕是最微小的错误都可能导致灾难性后果。哪怕有一点点灰尘或化学气体在加热过程中泄漏出来，都会毁掉晶圆。 大多数常规的加热元件并不适合用于这种环境。它们会释放出污染物，从而污染基材。因此，我们使用高纯度的合成石英来制作红外灯管，这样才能确保其始终...