Ngăn chặn tình trạng vỡ thủy tinh: Giữ cho các wafer sạch sẽ trong quá trình sấy bằng tia hồng ngoại
Trong ngành sản xuất cảm biến MEMS, việc đèn hồng ngoại bị hỏng là một thảm họa thực sự. Đó không chỉ là sự hư hỏng của một bộ phận, mà còn là một thảm họa lớn. Hãy tưởng tượng rằng ống thủy tinh bị vỡ dưới áp lực cao; ngay lập tức, những mảnh thủy tinh và sợi tungsten sẽ rơi xuống các wafer. Chỉ cần một tiếng nổ nhỏ thôi cũng đủ để làm hỏng cả một lô sản phẩm. Sau đó, công việc tiếp theo là phải tháo dỡ toàn bộ buồng sấy để dọn dẹp mảnh vỡ.
Tại sao đèn hồng ngoại lại bị hỏng?
Thông thường, nguyên nhân nằm ở sự thay đổi nhiệt độ đột ngột hoặc do có những điểm nóng bất thường. Nếu thủy tinh giãn nở không đều, nó sẽ bị nứt. Rất đơn giản thôi.
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng thủy tinh tổng hợp có độ tinh khiết cao, có khả năng chịu được sự thay đổi nhiệt độ nhanh chóng. Chúng tôi cũng chú ý đến việc đặt các sợi dây điện ở vị trí chính xác và việc bổ sung khí vào buồng sấy. Tại sao ư? Bởi vì điều này giúp phân bố nhiệt đều khắp thành ống. Khi nhiệt độ được kiểm soát tốt, thủy tinh sẽ không bị hư hỏng.
Giải pháp an toàn
Chúng tôi không chỉ tin tưởng vào khả năng chịu đựng của thủy tinh mà thôi. Đó là một rủi ro mà chúng ta không nên chấp nhận. Thay vào đó, chúng tôi sử dụng các lớp bảo vệ đặc biệt để ngăn mảnh vỡ rơi xuống các wafer. Nếu đèn bị hỏng, mảnh vỡ sẽ bị giữ lại bên trong vỏ đèn, không rơi xuống các cảm biến.
Chúng tôi cũng chú ý rất nhiều đến các đầu nối điện. Nếu các đầu nối không được gắn chặt, chúng sẽ gây ra hiện tượng phóng điện, từ đó tạo ra bụi kim loại. Đó cũng là một cách gây ô nhiễm các wafer. Chúng tôi đảm bảo rằng các đầu nối được gắn chặt và vật liệu sử dụng có thể chịu được điện áp của hệ thống.
Sự cân bằng
Với việc sử dụng ánh sáng hồng ngoại có mật độ cao, mọi thứ đều phải được cân bằng. Nếu bạn muốn quá trình sấy diễn ra nhanh hơn, bạn cần sử dụng công suất lớn hơn trong không gian nhỏ hơn. Nhưng công suất lớn sẽ tạo ra áp lực lớn lên thủy tinh. Nếu bạn chọn giải pháp sử dụng công suất lớn để tăng tốc độ sấy, bạn cần đảm bảo rằng dòng khí làm mát hoạt động hiệu quả. Nếu hai đầu ống không được làm mát đúng cách, các lớp kín sẽ nhanh chóng bị hỏng.
Chúng tôi cung cấp nguồn nhiệt, nhưng chính hệ thống quản lý nhiệt của bạn mới là yếu tố quyết định tuổi thọ của đèn.