Hentikan sistem pengeringan wafer daripada berfungsi seperti ketuhar
Masalah dengan lampu IR ialah ia memancarkan haba ke semua arah – sebanyak 360 darjah. Dalam proses pengeluaran semikonduktor, haba yang tidak mengenai wafer sebenarnya merupakan pembaziran. Lebih teruk lagi, tenaga yang tidak digunakan itu akan terpaksa pergi ke tempat lain, dan ia akan memanaskan dinding dalaman mesin tersebut. Kita telah melihat banyak kes di mana dinding mesin menjadi sangat panas sehingga boleh menyebabkan kebakaran. Itu bukanlah keadaan yang sesuai untuk ruang kerja profesional.
Mengarahkan haba ke tempat yang sepatutnya
Kita dapat menyelesaikan masalah ini dengan menggunakan reflektor yang tepat untuk mengalihkan arah pancaran haba tersebut. Daripada membiarkan haba tersebar ke mana-mana, reflektor akan mengumpulkan haba tersebut menjadi sinar yang tertumpu pada wafer. Dengan cara ini, tenaga haba akan digunakan dengan efektif di tempat yang sepatutnya. Oleh kerana radiasi tersebut tidak lagi mengenai dinding mesin, dinding dalaman akan tetap sejuk. Para pekerja boleh menyentuh permukaan luar mesin tanpa perlu risau tentang kemungkinan cedera.
Memilih bahan yang sesuai
Kami biasanya menggunakan substrat aluminium berkualiti tinggi atau substrat yang dilapisi emas. Emas merupakan pilihan yang terbaik untuk sinar IR panjang, kerana ia mampu memantulkan lebih banyak tenaga dan tidak mudah beroksidasi walaupun suhu amat tinggi. Jika anda menggunakan lampu berkuasa tinggi, reflektor perlu tahan terhadap tekanan haba tersebut. Kami memilih bahan yang mampu menahan pengembangan termal tanpa membengkok. Jika reflektor bengkok, titik fokusnya akan berubah, dan ini akan menyebabkan proses pengeringan wafer menjadi tidak sekata.
Kompromi yang perlu dipertimbangkan
Walaupun cara ini dapat menyelesaikan masalah keselamatan, ia juga memberikan tekanan yang lebih besar pada wafer. Masa yang diperlukan untuk proses pengeringan akan menjadi lebih cepat. Ini bagus, tetapi ada risiko bahawa suhu wafer akan melebihi had yang ditetapkan jika sistem kawalan suhu tidak disetel dengan betul. Anda perlu memastikan kalibrasi sensor berfungsi dengan baik untuk menghadapi sinar yang tertumpu tersebut. Selain itu, pastikan kipas penyejuk berfungsi dengan baik agar haba yang berlebihan tidak terkumpul di sekitar soket lampu.