Pada garis 300mm, ketuhar tersebut kelihatan stabil, tetapi profil photoresist masih berubah setelah proses pembakaran yang lembut dilakukan. Ini menyebabkan perbezaan ketebalan garisan semasa proses pengikisan, dan masalah ini berlaku disebabkan oleh ketidaksamaan suhu di seluruh permukaan wafer.
Biasanya, punca masalahnya adalah lampu pengering tersebut – komponennya menjadi usang, kuasa yang dihasilkan berubah-ubah, dan terdapat kawasan panas yang tidak dapat dikompensasikan oleh sistem kawalan.
Apa yang benar-benar penting dalam proses ini
Lampu pengering jenis DNS menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek yang terletak dalam komponen kuarsa. Ini membolehkan pemanasan yang cepat dan merata, dengan ketepatan suhu sekitar ±0.1°C. Kuasa yang dihasilkan oleh lampu tersebut kekal stabil walaupun selepas ribuan kali proses pembakaran. Dengan ini, proses pembakaran yang lembut dapat dilakukan dengan tepat mengikut spesifikasi yang ditetapkan, manakala proses pembakaran yang keras juga dapat dilakukan dengan tepat.
Lampu ini direka untuk digunakan di bilik bersih kelas 1–100. Seluruh sistem ini direka agar tidak menghasilkan zarah-zarah debu. Permukaan dan komponen lain dipilih agar tidak menghasilkan debu. Kuasa yang dihasilkan oleh lampu tersebut kekal stabil selama lebih dari 5,000 jam, dengan perubahan intensiti kurang dari 5%. Ini bermakna kurangnya keperluan untuk melakukan penyesuaian atau mengganti komponen tertentu.
Mengapa ini penting dalam proses litografi
Proses pembakaran yang lembut dan keras membantu mengawal kandungan pelarut pada photoresist, daya melekatnya, serta ketepatan pengukuran CD. Dengan adanya keseragaman suhu yang tinggi, jumlah bahan buangan akibat ketidaksamaan suhu semasa proses pembakaran akan berkurangan. Keseragaman yang tinggi juga membawa kepada hasil yang lebih baik, serta memudahkan proses perubahan setting semasa proses pembakaran.
Tindak balas termal yang cepat juga membantu mengurangkan penggunaan tenaga semasa proses pembakaran. Jangka hayat pemancar yang panjang pula membantu mengelakkan masa henti yang tidak dijangka.
Apa yang perlu diperhatikan sebelum memulakan penggunaan
Pemasangan lampu ini memerlukan penyelarasan yang tepat antara lampu tersebut dengan ruang pengering dan laluan cahaya yang sesuai. Kita perlu memastikan jenis sambungan, voltan, serta cara penyejukan lampu tersebut sebelum memulakan penggunaannya. Lampu tersebut perlu beroperasi dalam julat suhu yang ditetapkan. Jika suhu melampaui julat tersebut, jangka hayat lampu akan berkurangan.
Selain itu, perlu ada jadual pemeriksaan berkala untuk memastikan kebersihan reflektor lampu tersebut. Tanpa ini, keseragaman yang diharapkan tidak dapat dicapai.