Mengapa kita beralih daripada penggunaan udara panas dalam proses pemprosesan semikonduktor
Jika anda pernah meluangkan masa untuk mengemas kini peralatan di bilik bersih, pasti anda tahu betapa menyusahkannya proses pemanasan tersebut. Ia merupakan langkah yang memakan masa dan tidak efisien. Kebanyakan kilang lama masih menggunakan kaedah pemanasan udara panas. Masalahnya ialah ia memerlukan dua langkah: pertama, udara dipanaskan, kemudian diharapkan agar haba tersebut dapat sampai ke permukaan bahan yang diproses. Proses ini sangat lambat dan membazir tenaga. Sejujurnya, ia sangat mengecewakan apabila kita berusaha untuk memenuhi tarikh akhir yang ditetapkan.
Itulah sebabnya ramai orang beralih kepada kaedah pemanasan menggunakan sinar inframerah gelombang pendek (SWIR). Kaedah ini mengelakkan keperluan untuk memanaskan udara terlebih dahulu.
Hentikan pemanasan udara
Fikirkanlah begini. Pemanasan udara bergantung pada proses konveksi, iaitu menunggu sehingga suhu udara cukup tinggi untuk meresap ke dalam bahan yang diproses. Sinar inframerah pula tidak bergantung pada udara. Ia menggunakan radiasi elektromagnetik untuk menghantar tenaga terus ke bahan tersebut. Dengan cara ini, anda tidak perlu membuang masa untuk memanaskan seluruh bilik; hanya bahagian yang perlu dipanaskan sahaja yang akan dipanaskan. Kelewatan antara menyalakan suis dan mencapai suhu yang diinginkan hampir hilang sepenuhnya.
Lebih banyak wafer, kurang kesesakan
Dengan menggunakan kaedah SWIR, zon pemanasan boleh dibuat lebih kecil. Oleh kerana haba yang dihasilkan sangat tertumpu, anda tidak perlu menggunakan ruang yang besar untuk memastikan suhu tetap stabil. Ini membolehkan penggunaan ruang yang lebih efisien di kilang anda.
Tetapi kelebihan sebenar ialah kelajuan prosesnya. Bayangkanlah jika masa yang diperlukan untuk memproses sesuatu wafer dikurangkan dari 10 minit kepada 2 minit. Anda boleh memproses lebih banyak wafer setiap jam, tanpa perlu membeli atau memasang mesin baru.
Realiti
Namun, SWIR bukanlah penyelesaian yang sempurna. Ia mempunyai beberapa kelemahan. Kerana haba yang dihasilkan sangat tertumpu, ia mungkin tidak dapat mencapai setiap bahagian bahan yang diproses. Dalam situasi seperti ini, anda masih memerlukan sedikit proses konveksi untuk mengisi ruang kosong tersebut.
Selain itu, perlu berhati-hati dengan lampu berkuasa tinggi yang digunakan. Jika ia digunakan 24/7, pastikan kabel dan kipas penyejuk berfungsi dengan baik. Jika tidak, komponen elektrik boleh rosak, dan pengeluaran akan terhenti secara tiba-tiba.