Mengapa kita menggunakan emas dalam pemanas pengangkutan wafer
Ketika memindahkan wafer di dalam bilik bersih, suhu merupakan faktor yang sangat penting. Jika suhu terlalu rendah atau berubah secara drastik, ia boleh menyebabkan kotoran atau gangguan termal. Ini bukan cara yang baik untuk memulakan hari kerja.
Untuk mengelakkan perkara ini daripada berlaku, kita menggunakan reflektor yang dilapisi dengan emas. Walaunya kedengaran mewah, tetapi sebenarnya ia bertujuan untuk meningkatkan kecekapan. Kita ingin agar haba sampai ke wafer, bukannya hilang begitu sahaja ke bahagian lain.
Emas dan haba
Kebanyakan orang menganggap aluminium sebagai bahan yang sesuai untuk reflektor. Namun, aluminium sebenarnya menyerap sejumlah besar tenaga inframerah. Emas pula berbeza. Ia sangat efektif dalam memantulkan sinar inframerah kembali ke tempat asalnya.
Tujuannya bukanlah untuk membuat peralatan kelihatan mahal, tetapi untuk memastikan haba sampai ke tempat yang sepatutnya. Setiap watt tenaga yang digunakan benar-benar digunakan dengan efektif.
Cari titik keseimbangan yang tepat
Mungkin anda akan berfikir, “Mengapa tidak tingkatkan kuasa pemanas saja?” Memang, cara ini akan membuat wafer menjadi panas lebih cepat. Namun, ia akan memberi tekanan yang besar pada sumber kuasa. Selain itu, jika terlalu banyak haba diberikan ke ruang yang sempit, ia akan menyebabkan bahagian tertentu pada wafer menjadi terlalu panas. Ini tentu saja akan merosakkan kualiti wafer tersebut.
Kita perlu meluangkan masa untuk menyesuaikan bentuk reflektor dan ketebalan lapisan emas tersebut. Tujuannya adalah untuk memastikan haba tersebar secara merata di seluruh permukaan wafer. Tiada kejutan yang tidak dijangka.
Pemeliharaan peralatan
Berita baiknya ialah emas bersifat stabil dari segi kimia. Di dalam bilik bersih, ini merupakan kelebihan yang besar, kerana kita tidak perlu risau tentang pelepasan gas berbahaya.
Namun, emas merupakan bahan yang lembut. Jika pasukan penyelenggaraan menggunakan alat pembersih yang kasar, lapisan emas akan terkelupas. Apabila emas hilang, kecekapan pemanasan akan menurun. Pemanas ini direka untuk digunakan dengan teliti, bukan untuk dibersihkan secara kasar. Gunakan sahaja bahan pelarut yang disyorkan untuk membersihkannya, supaya ia dapat berfungsi dengan baik.