Mengurangkan Penggunaan Tenaga Dalam Proses Penghasilan Wafer (Tanpa Membazir Tenaga)
Setiap fasiliti pengeluaran semikonduktor kini berusaha keras untuk mencapai sasaran penggunaan tenaga yang serendah mungkin. Namun, apabila kita melihat di mana tenaga tersebut hilang, sebahagian besar daripadanya adalah haba yang terbuang semasa proses pemanasan wafer.
Cara lama menggunakan ketuhar konveksi yang besar sebenarnya sama saja seperti cuba memanaskan satu biji kacang dengan memanaskan seluruh dapur. Ini merupakan pembaziran tenaga yang sangat besar. Kami telah menemukan cara yang lebih baik dengan menggunakan sensor IR yang tepat serta sistem pemanasan yang ditujukan khusus pada wafer, bukan pada keseluruhan ruangan.
Hentikan Pemanasan Dinding Ruangan
Masalahnya ialah jika proses pemanasan tidak merata, maka bahagian-bahagian tertentu dari wafer akan rosak. Ini merupakan pembaziran masa dan wang. Kami menggunakan lampu IR berfrekuensi tinggi bersama-sama dengan alat pengukur suhu yang cepat, agar dapat menghasilkan pemanasan yang tepat pada wafer sahaja. Dengan cara ini, tenaga yang dibazir akibat pemanasan dinding ruangan dapat dikurangkan. Anda juga akan mendapat masa pemanasan yang lebih singkat, penggunaan tenaga yang lebih sedikit, dan bil tenaga yang lebih rendah. Ini merupakan logik yang mudah difahami.
Kelajuan dan Kawalan
Sensor-sensor ini direka untuk bertindak dalam masa milisaat. Jika ada titik panas pada permukaan wafer, sistem akan segera mengurangkan output IR. Ini jauh lebih baik berbanding penggunaan pemanas tradisional yang sering kali menyebabkan suhu melebihi had yang ditetapkan, sehingga menyebabkan kerugian besar. Selain itu, komponen-komponen ini dilindungi oleh kwarsa, sehingga haba yang tidak diinginkan tidak sampai ke permukaan pemanasan, dan prosesnya menjadi lebih efisien.
Cabaran: Tenaga dan Penyejukan
Namun, ada trade-off yang perlu dipertimbangkan. Array IR berkepadatan tinggi memang dapat memindahkan haba dengan cepat, tetapi ia juga menghasilkan banyak tenaga radiasi yang boleh merosakkan komponen elektronik. Anda tidak boleh sekadar memasangnya dalam kotak lama tanpa memastikan sistem penyejukan yang sesuai. Jika sistem penyejukan tidak cukup kuat, komponen elektronik akan rosak. Anda perlu memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik terlebih dahulu.
Apa Maknanya Bagi Industri Ini?
Dengan menggunakan teknologi IR yang tepat, saiz peralatan pemanasan akan berkurangan. Anda tidak perlu lagi menggunakan ketuhar yang besar dan lambat, sebaliknya boleh menggunakan array yang lebih kompak yang boleh beroperasi dengan cepat. Ini menjadikan konsep “Pabrik Hijau” bukan sekadar slogan, tetapi realiti. Anda dapat mengurangkan penggunaan tenaga secara drastis, yang merupakan cara terbaik untuk mengurangkan kos pengeluaran setiap cip yang dihasilkan.