Mengamankan Keamanan Saat Memanaskan Wafer Menggunakan Sinar Infra Merah
Sejujurnya, menggabungkan lampu inframerah berkekuatan tinggi dengan bahan pelarut yang mudah terbakar merupakan cara yang sangat berbahaya. Pada tahap pembersihan wafer menggunakan bahan kimia, hal terakhir yang diinginkan adalah adanya sumber api yang berada di dekat uap-uap yang mudah terbakar.
Kami telah menemukan cara yang lebih baik untuk mengatasi masalah ini. Alih-alih menggunakan lampu biasa, kami membungkus elemen pemanas tersebut dalam lapisan khusus yang tahan terhadap bahan kimia.
Menemukan Keseimbangan yang Tepat
Ada tantangan dalam menentukan posisi lampu tersebut. Jika lampu diletakkan terlalu dekat, maka akan muncul “titik panas” pada permukaan wafer. Itu tentu tidak baik. Namun, jika lampu diletakkan terlalu jauh, efisiensi pemanasan akan menurun, sehingga waktu pemrosesan pun menjadi lebih lama.
Untuk mengatasi hal ini, kami memasukkan elemen pemanas ke dalam wadah tertutup yang terbuat dari safir atau kuarsa yang tahan terhadap bahan kimia. Ini berfungsi sebagai perisai fisik yang melindungi lampu dari udara di sekitarnya. Dengan demikian, meskipun terjadi kebocoran bahan kimia, lampu tetap tidak akan menyebabkan kebakaran.
Memastikan Stabilitas
Stabilitas sangat penting di sini. Kami menggunakan kuarsa yang dilapisi khusus atau desain berdinding ganda, karena goncangan termal dapat merusak lampu. Jika suhu cairan pembersih berubah-ubah, lampu yang murah akan mudah rusak. Selain itu, lapisan pelindung tersebut juga mencegah masuknya kelembapan dan gas-gas korosif. Biasanya, inilah penyebab kerusakan lampu—elektroda-lah yang rusak akibat pengaruh bahan kimia. Desain ini mencegah hal tersebut terjadi.
Kompromi yang Harus Diterima
Namun, ada satu kekurangan: karena adanya lapisan pelindung tersebut, panas yang dihasilkan oleh lampu sedikit berkurang. Meski tidak banyak, lapisan tersebut tetap menyerap sebagian energi sebelum energi tersebut sampai ke wafer. Anda perlu menyesuaikan suplai daya agar kecepatan pemrosesan tetap optimal.
Satu hal lagi yang perlu diperhatikan: jangan lupa tentang aliran udara. Meskipun lampu sudah tertutup, sistem pengeluaran udara tetap diperlukan untuk menjaga level bahan pelarut tetap di bawah batas yang aman. Keselamatan selalu harus didahulukan.