Hentikan sistem pengeringan wafer Anda dari berubah menjadi “oven” yang panas
Masalahnya adalah lampu IR memancarkan panas ke segala arah—360 derajat. Dalam proses pembuatan semikonduktor, panas yang tidak mengenai wafer sebenarnya merupakan pemborosan energi. Namun, yang lebih buruk lagi adalah energi tersebut harus pergi ke suatu tempat, dan akhirnya mempengaruhi dinding bagian dalam mesin. Sudah banyak kasus di mana bagian luar mesin menjadi sangat panas, sehingga membahayakan keselamatan pekerja. Itu bukanlah kondisi yang diinginkan dalam lingkungan kerja profesional.
Mengarahkan panas ke tempat yang tepat
Kita dapat mengatasi hal ini dengan menggunakan reflektor yang canggih. Reflektor tersebut digunakan untuk memfokuskan energi IR ke arah wafer saja. Dengan demikian, energi panas akan terkonsentrasi di titik yang tepat. Karena radiasi tidak lagi mengenai bagian luar mesin, maka dinding bagian dalam tetap dingin. Para pekerja pun dapat menyentuh bagian luar mesin tanpa khawatir akan terbakar.
Memilih bahan yang tepat
Kami biasanya menggunakan substrat berbahan aluminium berkualitas tinggi atau substrat yang dilapisi emas. Emas merupakan bahan yang paling cocok untuk gelombang IR jangka panjang, karena emas mampu memantulkan lebih banyak energi dan tidak akan beroksidasi ketika suhu meningkat drastis. Jika Anda menggunakan lampu berdaya tinggi, reflektor perlu dibuat dari bahan yang mampu menahan ekspansi termal tanpa bengkok. Jika reflektor bengkok, fokus cahaya akan berubah, sehingga proses pengeringan wafer menjadi tidak merata.
Kompromi yang harus diterima
Meskipun cara ini dapat mengatasi masalah keselamatan, namun hal ini justru memberikan tekanan yang lebih besar pada wafer. Waktu yang diperlukan untuk proses pengeringan akan berkurang. Itu bagus, tetapi ada risiko bahwa suhu wafer bisa melebihi batas yang ditentukan jika kontrol PID tidak disetel dengan baik. Pastikan kalibrasi sensor Anda sudah benar, agar dapat menghadapi intensitas cahaya yang tinggi. Selain itu, periksalah kipas pendingin Anda, agar panas yang tersisa tidak menumpuk di sekitar soket lampu.